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1. (WO2018079192) COUCHE DE NITRURE DU GROUPE 13, SUBSTRAT COMPOSITE ET ÉLÉMENT FONCTIONNEL

Pub. No.:    WO/2018/079192    International Application No.:    PCT/JP2017/035537
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: C30B 29/38
H01L 21/205
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: ISODA Yoshinori
磯田 佳範
NOGUCHI Suguru
野口 卓
UCHIKAWA Tetsuya
内川 哲哉
HIRAO Takayuki
平尾 崇行
SHIMODAIRA Takanao
下平 孝直
IMAI Katsuhiro
今井 克宏
Title: COUCHE DE NITRURE DU GROUPE 13, SUBSTRAT COMPOSITE ET ÉLÉMENT FONCTIONNEL
Abstract:
L'invention concerne une couche de nitrure du groupe 13 présentant une première surface principale et une seconde surface principale. La couche de nitrure du groupe 13 comprend : une première couche à réduction de vides disposée sur le premier côté de la surface principale; une seconde couche à réduction de vides disposée sur le second côté de la surface principale; et une couche à répartition de vides disposée entre la première couche à réduction de vides et la seconde couche à réduction de vides.