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1. (WO2018078752) DISPOSITIF D’INSPECTION ET PROCÉDÉ D’INSPECTION

Pub. No.:    WO/2018/078752    International Application No.:    PCT/JP2016/081776
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 27 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01R 31/26
G01R 1/073
Applicants: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
三菱電機株式会社
Inventors: KAGUCHI, Naoto
鹿口 直斗
EBIIKE, Yuji
海老池 勇史
Title: DISPOSITIF D’INSPECTION ET PROCÉDÉ D’INSPECTION
Abstract:
L'invention concerne un dispositif d'inspection comprenant une plaque de fixation (24), une pluralité de parties d'extension et de contraction (11) qui possèdent chacune une extrémité fixée à la plaque de fixation (24), une pluralité de sondes de contact (19) fixées respectivement aux autres extrémités des parties d'extension et de contraction (11) et une pluralité de parties de fixation (12) disposées respectivement sur la pluralité de sondes de contact (19). Chacune des parties de fixation (12) commute entre un état de fixation dans lequel la partie de fixation (12) fixe l'extrémité supérieure de la sonde de contact (19) correspondante parmi la pluralité de sondes de contact (19) dans une première position et un état ouvert dans lequel la partie de fixation ne fixe pas la sonde de contact. Dans l'état de fixation, la sonde de contact (19) est tirée vers la plaque de fixation (24) par la partie d'extension et de contraction (11) correspondante parmi la pluralité de parties d'expansion et de contraction (11) et dans l'état ouvert, l'extrémité supérieure de la sonde de contact (19) est disposée à une seconde position plus proche de la plaque de fixation (24) que la première position.