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1. (WO2018077751) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT MICROMÉCANIQUE
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N° de publication : WO/2018/077751 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/076864
Date de publication : 03.05.2018 Date de dépôt international : 20.10.2017
CIB :
H01L 41/09 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41
Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08
Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
09
à entrée électrique et sortie mécanique
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26
Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation
08
pour commander la direction de la lumière
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
HATTASS, Mirko; DE
KAUPMANN, Philip; DE
MUCHOW, Joerg; DE
GRUTZECK, Helmut; DE
MARK, Stefan; DE
BALSLINK, Thorsten; DE
MAIER, Daniel; DE
Données relatives à la priorité :
10 2016 221 400.431.10.2016DE
Titre (EN) MICROMECHANICAL COMPONENT, AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN COMPOSANT MICROMÉCANIQUE
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL
Abrégé :
(EN) The invention relates to a micromechanical component having a movable part (12) which is held movably about at least one axis of rotation (18) on a holder (10) between a first spring (16a) and a second spring (16b), at least one first piezoelectric actuator (14a) which is formed on at least one first actuator support (20a) attached directly or indirectly to the first spring (16a), and at least one second piezoelectric actuator (14b) which is formed on at least one second actuator support (20b) attached directly or indirectly to the second spring (16b). The movable part (12) is at least partially structured out of a substrate, and at least the first spring (16a), the at least one first actuator support (20a), the second spring (16b) and the at least one second actuator support (20b) are structured out of a functional layer. The invention further relates to a method for producing a micromechanical component.
(FR) L'invention concerne un composant micromécanique comportant une partie mobile (12), qui est maintenue de manière à se déplacer entre un premier ressort (16a) et un second ressort (16b) sur un élément de retenue (10) autour d'au moins un axe de rotation (18), au moins un premier actionneur piézoélectrique (14a) qui est réalisé sur au moins un premier support d'actionneur (20a) relié directement ou indirectement au premier ressort (16a) et au moins un deuxième actionneur piézoélectrique (14b) qui est réalisé sur au moins un deuxième support d'actionneur (20b) relié directement ou indirectement au second ressort (16b), la partie mobile (12) est structurée au moins en partie à partir d'un substrat et au moins le premier ressort (16a), le au moins un premier support d'actionneur (20a), le second ressort (16b) et le au moins un deuxième support d'actionneur (20b) sont structurés à partir d'une couche fonctionnelle. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un composant micromécanique.
(DE) Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem verstellbaren Teil (12), welches zwischen einer ersten Feder (16a) und einer zweiten Feder (16b) an einer Halterung (10) um zumindest eine Drehachse (18) verstellbar gehalten ist, mindestens einen ersten piezoelektrischen Aktor (14a), welcher auf mindestens einem direkt oder indirekt an der ersten Feder (16a) angebundenen ersten Aktorträger (20a) ausgebildet ist; und mindestens einen zweiten piezoelektrischen Aktor (14b), welcher auf mindestens einem direkt oder indirekt an der zweiten Feder (16b) angebundenen zweiten Aktorträger (20b) ausgebildet ist, wobei das verstellbare Teil (12) zumindest teilweise aus einem Substrat herausstrukturiert ist, und zumindest die erste Feder (16a), der mindestens eine erste Aktorträger (20a), die zweite Feder (16b) und der mindestens eine zweite Aktorträger (20b) aus einer Funktionsschicht herausstrukturiert sind. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)