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1. (WO2018077587) APPAREIL ET PROCÉDÉ LITHOGRAPHIQUE
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N° de publication : WO/2018/077587 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/075382
Date de publication : 03.05.2018 Date de dépôt international : 05.10.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 9/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
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Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
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Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
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Mise en registre ou positionnement d'originaux, de masques, de trames, de feuilles photographiques, de surfaces texturées, p.ex. automatique
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
BASELMANS, Johannes, Jacobus, Matheus; NL
Mandataire :
KETTING, Alfred; NL
Données relatives à la priorité :
16195245.224.10.2016EP
Titre (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ LITHOGRAPHIQUE
Abrégé :
(EN) A scanning exposure of a plurality of target regions on a substrate is performed such that an image of each of a plurality of markers is formed on each of the plurality of target regions. Each of the plurality of markers is of a form such that a property of the image of the marker is dependent on the contrast in a known manner. During the scanning exposure the substrate is moved in a scanning direction and at least one of: a difference between a rotation angle of the substrate and a rotation angle of a plane of best focus, about a first axis perpendicular to the scanning direction, a difference between a rotation angle of the substrate and a rotation angle of the plane of best focus about a second axis perpendicular to the first axis and perpendicular to the scanning direction, and a speed of the substrate in the scanning direction relative to the plane of best focus, is selected to be different for the scanning exposures of at least two of the plurality of target regions. Next the property of the image of each of the plurality of markers is determined.
(FR) Selon l'invention une exposition par balayage d'une pluralité de régions cibles sur un substrat est effectuée de telle sorte qu'une image de chacun d'une pluralité de marqueurs est formée sur chacune de la pluralité de régions cibles. Chaque marqueur de la pluralité de marqueurs est d'une forme telle qu'une propriété de l'image du marqueur dépend du contraste de manière connue. Pendant l'exposition par balayage, le substrat est déplacé dans une direction de balayage et au moins l'un parmi : une différence entre un angle de rotation du substrat et un angle de rotation d'un plan de la meilleure focalisation, autour d'un premier axe perpendiculaire à la direction de balayage, une différence entre un angle de rotation du substrat et un angle de rotation du plan de la meilleure focalisation autour d'un second axe perpendiculaire au premier axe et perpendiculaire à la direction de balayage, et une vitesse du substrat dans la direction de balayage par rapport au plan de la meilleure focalisation, est sélectionnée de sorte à être différente pour les expositions de balayage d'au moins deux de la pluralité de régions cibles. Ensuite, la propriété de l'image de chacun de la pluralité de marqueurs est déterminée.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)