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1. (WO2018077471) APPAREIL DE SURVEILLANCE DE PARTICULES CHARGÉES, MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE PARTICULES CHARGÉES

Pub. No.:    WO/2018/077471    International Application No.:    PCT/EP2017/001242
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/26
H01J 37/22
H01J 37/04
Applicants: BAUM, Peter
Inventors: BAUM, Peter
Title: APPAREIL DE SURVEILLANCE DE PARTICULES CHARGÉES, MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE PARTICULES CHARGÉES
Abstract:
L'invention concerne un appareil et un procédé de surveillance de particules chargées, dans lequel, au niveau d'un élément de modulation de faisceau, un faisceau continu de particules chargées et un faisceau laser continu se croisent, ce qui permet de produire des impulsions de particules qui sont plus courtes qu'un cycle optique, tandis que la qualité du faisceau et le courant moyen du faisceau de particules sont préservés.