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1. (WO2018076339) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE MICRODÉPLACEMENT À SIX DEGRÉS DE LIBERTÉ POUR ÉLÉMENT OPTIQUE, OBJECTIF DE PROJECTION ET MACHINE DE LITHOGRAPHIE
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N° de publication : WO/2018/076339 N° de la demande internationale : PCT/CN2016/104017
Date de publication : 03.05.2018 Date de dépôt international : 31.10.2016
CIB :
G02B 7/00 (2006.01)
Déposants : CHANGCHUN INSTITUTE OF OPTICS, FINE MECHANICS AND PHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCE[CN/CN]; Dong Nanhu Road 3888 Changchun, Jilin 130033, CN
Inventeurs : ZHANG, Defu; CN
LI, Xianling; CN
NI, Mingyang; CN
SUI, Yongxin; CN
YANG, Huaijiang; CN
Mandataire : CHINA SCIENCE PATENT & TRADEMARK AGENT LTD.; Suite 4-1105, No. 87, West 3rd, Ring North Rd. Haidian District, Beijing 100089, CN
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SIX-DEGREE-OF-FREEDOM MICRODISPLACEMENT REGULATING DEVICE FOR OPTICAL ELEMENT, PROJECTION OBJECTIVE AND LITHOGRAPHY MACHINE
(FR) DISPOSITIF DE RÉGULATION DE MICRODÉPLACEMENT À SIX DEGRÉS DE LIBERTÉ POUR ÉLÉMENT OPTIQUE, OBJECTIF DE PROJECTION ET MACHINE DE LITHOGRAPHIE
(ZH) 光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机
Abrégé : front page image
(EN) Disclosed is a six-degree-of-freedom microdisplacement regulating device, the device comprising a lens cone (12). Three regulating branched chains (13) are mounted on an upper surface of the lens cone (12). Each regulating branched chain (13) provides two-degree-of-freedom displacement regulation. A supporting lens frame (14) is mounted on an upper surface of the three regulating branched chains (13). A supporting lens frame (15) can generate displacement under the drive of each regulating branched chain (13) in two degrees of freedom. An optical element (5) is fixed in the supporting lens frame (15), which can realize six-degree-of-freedom displacement regulation for the optical element (5) under the drive of the three regulating branched chains (13), effectively improving the precision of displacement regulation for the optical element (5).
(FR) L'invention concerne un dispositif de régulation de microdéplacement à six degrés de liberté, le dispositif comprenant un cône de lentille (12). Trois chaînes ramifiées de régulation (13) sont montées sur une surface supérieure du cône de lentille (12). Chaque chaîne ramifiée de régulation (13) fournit une régulation de déplacement à deux degrés de liberté. Un cadre de lentille de support (14) est monté sur une surface supérieure des trois chaînes ramifiées de régulation (13). Un cadre de lentille de support (15) peut générer un déplacement sous la commande de chaque chaîne ramifiée de régulation (13) dans deux degrés de liberté. Un élément optique (5) est fixé dans le cadre de lentille de support (15), qui peut réaliser une régulation de déplacement à six degrés de liberté pour l'élément optique (5) sous la commande des trois chaînes ramifiées de régulation (13), ce qui permet d'améliorer efficacement la précision de la régulation de déplacement pour l'élément optique (5).
(ZH) 一种光学元件六自由度微位移调节装置,包括镜筒(12),三个调节支链(13)安装于镜筒(12)的上表面,每个调节支链(13)提供两个自由度的位移调节;支撑镜框(14)安装于三个调节支链(13)的上表面,在每个调节支链(13)的驱动下,支撑镜框(15)可在两个自由度产生位移;光学元件(5)固定于支撑镜框(15)内,在三个调节支链(13)的驱动下,实现光学元件(5)的六自由度位移调节,有效提高了光学元件(5)位移调节精度。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)