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1. (WO2018067463) PROCÉDÉS ET APPAREIL DESTINÉS À EMPÊCHER UNE INTERFÉRENCE ENTRE DES CHAMBRES DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2018/067463    International Application No.:    PCT/US2017/054765
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Oct 03 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/56
C23C 14/50
C23C 14/54
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: ZHANG, Fuhong
GARG, Sunil Kumar
KIELY, Paul
RIKER, Martin Lee
FRUCHTERMAN, William
WANG, Zheng
WANG, Xiaodong
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL DESTINÉS À EMPÊCHER UNE INTERFÉRENCE ENTRE DES CHAMBRES DE TRAITEMENT
Abstract:
L'invention concerne des procédés et un appareil pour réduire au minimum l'interférence électromagnétique entre des chambres de traitement adjacentes d'un outil combiné. L’instant de mise en route de la recette en question est commandé sur la base de la fenêtre de traitement électromagnétique de la chambre de traitement en question, de la fenêtre électromagnétique de la première chambre de traitement adjacente et d'une seconde chambre de traitement adjacente facultative. L’instant de mise en route de la chambre de traitement est commandé pour empêcher un chevauchement temporel de la fenêtre électromagnétique de la chambre avec la fenêtre électromagnétique d'une chambre adjacente.