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1. (WO2018067243) ACCÉLÉRATION DE LA MESURE SPECTRALE DANS LA FABRICATION DE DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/067243    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/048276
Date de publication : 12.04.2018 Date de dépôt international : 23.08.2017
CIB :
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : IMMER, Vincent; (IL).
MARCIANO, Tal; (IL).
LAVERT, Etay; (IL)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/403,712 04.10.2016 US
Titre (EN) EXPEDITING SPECTRAL MEASUREMENT IN SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION
(FR) ACCÉLÉRATION DE LA MESURE SPECTRALE DANS LA FABRICATION DE DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé : front page image
(EN)A device and method for expediting spectral measurement in metrological activities during semiconductor device fabrication through interferometric spectroscopy of white light illumination during calibration, overlay, and recipe creation.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé pour accélérer une mesure spectrale dans des activités métrologiques pendant la fabrication d'un dispositif à semi-conducteur par spectroscopie interférométrique d'éclairage de lumière blanche pendant l'étalonnage, le recouvrement et la création de recette.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)