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1. (WO2018066884) PROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE MEMBRANE COMPOSITE
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N° de publication : WO/2018/066884 N° de la demande internationale : PCT/KR2017/010779
Date de publication : 12.04.2018 Date de dépôt international : 28.09.2017
CIB :
H01L 21/033 (2006.01) ,H01L 21/768 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H01L 21/28 (2006.01) ,H01L 21/324 (2006.01)
[IPC code unknown for H01L 21/033][IPC code unknown for H01L 21/768][IPC code unknown for H01L 21/02][IPC code unknown for H01L 21/28][IPC code unknown for H01L 21/324]
Déposants :
주식회사 원익아이피에스 WONIK IPS CO., LTD. [KR/KR]; 경기도 평택시 진위면 진위산단로 75 75, Jinwisandan-ro, Jinwi-myeon Pyeongtaek-si Gyeonggi-do 17709, KR
Inventeurs :
이인환 YI, In Hwan; KR
진광선 JIN, Kwang Seon; KR
조병철 CHO, Byung Chul; KR
전진성 CHUN, Jin Sung; KR
Mandataire :
김성남 KIM, Seong Nam; KR
Données relatives à la priorité :
10-2016-012904906.10.2016KR
10-2016-014575203.11.2016KR
10-2017-012236222.09.2017KR
Titre (EN) METHOD FOR PREPARING COMPOSITE MEMBRANE
(FR) PROCÉDÉ DE PRÉPARATION DE MEMBRANE COMPOSITE
(KO) 복합막 제조방법
Abrégé :
(EN) The present technique relates to a method for preparing a composite membrane. In the method for preparing a composite membrane according to the present embodiment, a first material layer, which is composed of at least one layer, is deposited by using a first source gas containing a first component and a reaction gas containing oxygen reacting with the first source gas. A second material layer, which is composed of at least one layer, is deposited on the first material layer by using a second source gas containing a second component different from the first component and a reaction gas containing oxygen reacting with the second source gas. A step for depositing the first material layer and a step for depositing the second material layer are set to one cycle, and the cycle is performed at least once.
(FR) La présente technique concerne un procédé de préparation d'une membrane composite. Dans le procédé de préparation d'une membrane composite selon le présent mode de réalisation, une première couche de matériau, qui est composée d'au moins une couche, est déposée en utilisant un premier gaz source contenant un premier composant et un gaz de réaction contenant de l'oxygène réagissant avec le premier gaz source. Une seconde couche de matériau, qui est composée d'au moins une couche, est déposée sur la première couche de matériau en utilisant un second gaz source contenant un second composant différent du premier composant et un gaz de réaction contenant de l'oxygène réagissant avec le second gaz source. Une étape de dépôt de la première couche de matériau et une étape de dépôt de la seconde couche de matériau sont définies en un cycle, et le cycle est effectué au moins une fois.
(KO) 복합막 제조방법에 관한 기술이다. 본 실시예에 따른 복합막 제조방법은, 적어도 한 층 이상으로 구성되는 제 1 성분을 포함하는 제 1 소스 가스 및 상기 제 1 소스 가스와 반응하는 산소를 포함하는 반응 가스를 이용하여 제 1 물질층을 증착한다. 상기 제 1 물질층 상부에 적어도 한 층 이상으로 구성되며, 제 1 성분과 상이한 제 2 성분을 포함하는 제 2 소스 가스 및 상기 제 2 소스 가스와 반응하는 산소를 포함하는 반응 가스를 이용하여 제 2 물질층을 증착한다. 상기 제 1 물질층을 증착하는 단계 및 상기 제 2 물질층을 증착하는 단계를 1개의 사이클로 설정하고, 상기 사이클을 적어도 1회 이상 진행한다.
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Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)