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1. (WO2018066698) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME
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N° de publication :    WO/2018/066698    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/036510
Date de publication : 12.04.2018 Date de dépôt international : 06.10.2017
CIB :
G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION RESEARCH ORGANIZATION OF INFORMATION AND SYSTEMS [JP/JP]; 10-3, Midori-cho, Tachikawa-shi, Tokyo 1900014 (JP).
DREXEL UNIVERSITY [US/US]; 3141 Chestnut Street, Philadelphia, Pennsylvania 19104 (US)
Inventeurs : SATO, Imari; (JP).
ASANO, Yuta; (JP).
ZHENG, Yinqiang; (JP).
NISHINO, Ko; (US)
Mandataire : SAMEJIMA, Mutsumi; (JP).
KAWABATA, Junichi; (JP)
Données relatives à la priorité :
62/405,512 07.10.2016 US
Titre (EN) SHAPE MEASURING DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME
(JA) 形状測定装置及び方法
Abrégé : front page image
(EN)This shape measuring device is provided with: a light source which radiates light having first and second wavelengths onto the surface of an object having reflectance factors with respect to the first and second wavelengths, via a medium having absorption coefficients at the first and second wavelengths; a sensor which receives light that has come from the surface of the object and has propagated through the medium, and which measures the intensities at the first and second wavelengths; and a measuring unit which calculates the distance from the surface of the medium to the surface of the object on the basis of the measured intensities at the first and second wavelengths, and on the basis of the absorption coefficients at the first and second wavelengths, and measures the shape of the object on the basis of the calculated distance. The first and second wavelengths are selected such that a difference between the intensity for a minimum distance at the first wavelength and the intensity for a maximum distance at the second wavelength is greater than a prescribed first value, and such that a difference between the reflectance factor at the first wavelength and the reflectance factor at the second wavelength is smaller than a prescribed second value.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme qui est pourvu de : une source de lumière qui rayonne une lumière ayant des première et deuxième longueurs d’onde sur la surface d’un objet ayant des facteurs de réflectance pour les première et deuxième longueurs d’onde, par l’intermédiaire d’un milieu ayant des coefficients d’absorption aux première et deuxième longueurs d’onde ; un capteur qui reçoit de la lumière qui provient de la surface de l’objet et qui s’est propagée à travers le milieu, et qui mesure les intensités aux première et deuxième longueurs d’onde ; et une unité de mesure qui calcule la distance de la surface du milieu à la surface de l’objet sur la base des intensités mesurées aux première et deuxième longueurs d’onde, et sur la base des coefficients d’absorption aux première et deuxième longueurs d’onde, et mesure la forme de l’objet sur la base de la distance calculée. Les première et deuxième longueurs d’onde sont choisies de sorte qu’une différence entre l’intensité pour une distance minimale à la première longueur d’onde et l’intensité pour une distance maximale à la deuxième longueur d’onde soit supérieure à une première valeur prescrite, et de sorte qu’une différence entre le facteur de réflectance à la première longueur d’onde et le facteur de réflectance à la deuxième longueur d’onde soit inférieure à une deuxième valeur prescrite.
(JA)形状測定装置は、第1及び第2の波長における各吸収係数を有する媒質を介して、第1及び第2の波長の各反射率係数を有する物体の表面に、第1及び第2の波長を有する光を照射する光源と、物体の表面から来て媒質を通って伝搬する光を受光して、第1及び第2の波長の各強度を測定するセンサと、測定された第1及び第2の波長の各強度と、第1及び第2の波長における吸収係数に基づいて、媒質の表面から物体の表面までの距離を計算し、計算された距離に基づいて物体の形状を測定する測定部とを備える。第1及び第2の波長は、第1の波長における最短距離の強度と第2の波長における最長距離の強度との差が所定の第1の値よりも大きくなり、かつ、第1の波長における反射率係数と第2の波長における反射率係数との差が所定の第2の値よりも小さくなるように選択される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)