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1. (WO2018066515) COMPOSITION DE REVÊTEMENT DESTINÉE À UNE INVERSION DE MOTIF
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N° de publication : WO/2018/066515 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/035827
Date de publication : 12.04.2018 Date de dépôt international : 02.10.2017
CIB :
C09D 183/04 (2006.01) ,B05D 1/32 (2006.01) ,B05D 1/36 (2006.01) ,B05D 3/10 (2006.01) ,B05D 7/00 (2006.01) ,B05D 7/24 (2006.01) ,C09D 7/12 (2006.01) ,G03F 7/40 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
09
COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
D
COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT, p.ex. PEINTURES, VERNIS OU VERNIS-LAQUES; APPRÊTS EN PÂTE; PRODUITS CHIMIQUES POUR ENLEVER LA PEINTURE OU L'ENCRE; ENCRES; CORRECTEURS LIQUIDES; COLORANTS POUR BOIS; PRODUITS SOLIDES OU PÂTEUX POUR COLORIAGE OU IMPRESSION; EMPLOI DE MATÉRIAUX À CET EFFET
183
Compositions de revêtement à base de composés macromoléculaires obtenus par des réactions créant dans la chaîne principale de la macromolécule une liaison contenant uniquement du silicium, avec ou sans soufre, azote, oxygène ou carbone; Compositions de revêtement à base de dérivés de tels polymères
04
Polysiloxanes
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05
PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
D
PROCÉDÉS POUR APPLIQUER DES LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
1
Procédés pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides aux surfaces
32
en utilisant des moyens pour protéger des parties de surface à ne pas recouvrir, p.ex. en se servant de stencils, d'enduits de protection
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05
PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
D
PROCÉDÉS POUR APPLIQUER DES LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
1
Procédés pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides aux surfaces
36
Applications successives de liquides ou d'autres matériaux fluides, p.ex. sans traitement intermédiaire
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05
PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
D
PROCÉDÉS POUR APPLIQUER DES LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
3
Traitement préalable des surfaces sur lesquelles des liquides ou d'autres matériaux fluides doivent être appliqués; Traitement ultérieur des revêtements appliqués, p.ex. traitement intermédiaire d'un revêtement déjà appliqué, pour préparer les applications ultérieures de liquides ou d'autres matériaux fluides
10
par d'autres moyens chimiques
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05
PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
D
PROCÉDÉS POUR APPLIQUER DES LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
7
Procédés, autres que le flocage, spécialement adaptés pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides, à des surfaces particulières, ou pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides particuliers
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
05
PULVÉRISATION OU ATOMISATION EN GÉNÉRAL; APPLICATION DE LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
D
PROCÉDÉS POUR APPLIQUER DES LIQUIDES OU D'AUTRES MATÉRIAUX FLUIDES AUX SURFACES, EN GÉNÉRAL
7
Procédés, autres que le flocage, spécialement adaptés pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides, à des surfaces particulières, ou pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides particuliers
24
pour appliquer des liquides ou d'autres matériaux fluides particuliers
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
09
COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
D
COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT, p.ex. PEINTURES, VERNIS OU VERNIS-LAQUES; APPRÊTS EN PÂTE; PRODUITS CHIMIQUES POUR ENLEVER LA PEINTURE OU L'ENCRE; ENCRES; CORRECTEURS LIQUIDES; COLORANTS POUR BOIS; PRODUITS SOLIDES OU PÂTEUX POUR COLORIAGE OU IMPRESSION; EMPLOI DE MATÉRIAUX À CET EFFET
7
Caractéristiques de compositions de revêtement non prévues dans le groupe C09D5/102
12
Autres adjuvants
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
26
Traitement des matériaux photosensibles; Appareillages à cet effet
40
Traitement après le dépouillement selon l'image, p.ex. émaillage
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
027
Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe H01L21/18 ou H01L21/34187
Déposants :
日産化学株式会社 NISSAN CHEMICAL CORPORATION [JP/JP]; 東京都中央区日本橋二丁目5番1号 5-1, Nihonbashi 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1036119, JP
Inventeurs :
谷口 博昭 YAGUCHI, Hiroaki; JP
中島 誠 NAKAJIMA, Makoto; JP
遠藤 勇樹 ENDO, Yuki; JP
柴山 亘 SHIBAYAMA, Wataru; JP
志垣 修平 SHIGAKI, Shuhei; JP
Mandataire :
特許業務法人はなぶさ特許商標事務所 HANABUSA PATENT & TRADEMARK OFFICE; 東京都千代田区神田駿河台3丁目2番地 新御茶ノ水アーバントリニティ Shin-Ochanomizu Urban Trinity, 2, Kandasurugadai 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062, JP
Données relatives à la priorité :
2016-19674704.10.2016JP
Titre (EN) COATING COMPOSITION FOR PATTERN INVERSION
(FR) COMPOSITION DE REVÊTEMENT DESTINÉE À UNE INVERSION DE MOTIF
(JA) パターン反転のための被覆組成物
Abrégé :
(EN) [Problem] To provide a pattern-inversion coating composition that is not only for filling spaces within a pattern of an organic underlayer film to which a resist pattern formed over a substrate to be processed has been transferred, but also for forming a flat film. [Solution] A coating composition which is to be applied to an organic underlayer film to which a resist pattern has been transferred, the coating composition containing a polysiloxane formed by reacting an alcohol with silanol groups of a product of the hydrolysis and condensation of one or more hydrolyzable silanes, 50-100 mol% of which are accounted for by a hydrolyzable silane having four hydrolyzable groups in the molecule. The hydrolyzable silanes are represented by formula (1): R1aSi(R2)4-a, and comprise 50-100 mol% hydrolyzable silane in which a is 0 and 0-50 mol% hydrolyzable silane in which a is 1 or 2. The alcohol is propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, or 3-methoxybutanol.
(FR) Le problème décrit par l'invention est de produire une composition de revêtement à inversion de motif destinée non seulement à remplir des espaces à l'intérieur d'un motif d'un film de sous-couche organique auquel un motif de réserve formé sur un substrat à traiter a été transféré, mais également à former un film plat. La solution selon l'invention porte sur une composition de revêtement qui doit être appliquée à un film de sous-couche organique auquel un motif de réserve a été transféré, la composition de revêtement contenant un polysiloxane formé par réaction d'un alcool avec des groupes silanol d'un produit de l'hydrolyse et de la condensation d'un ou plusieurs silanes hydrolysables, dont 50 à 100 % en moles sont constitués d'un silane hydrolysable possédant quatre groupes hydrolysables dans la molécule. Les silanes hydrolysables sont représentés par la formule (1) : R1 aSi(R2)4-a, et comprennent 50 à 100 % en moles de silane hydrolysable dans lequel a est 0 et 0 à 50 % en moles de silane hydrolysable dans lequel a est 1 ou 2. L'alcool est l'éther monométhylique de propylène glycol, l'éther monoéthylique de propylène glycol, ou le 3-méthoxybutanol.
(JA) 【課題】 被加工基板上に形成されたレジストパターンを下層に転写した有機下層膜のパターンに対し、パターン間隙を埋めると共に、平坦な膜を形成するパターン反転用被覆組成物を提供する。 【解決手段】 レジストパターンを下層に転写した有機下層膜上に被覆される被覆組成物であり、該被覆組成物は全シラン中に4つの加水分解性基を分子内に有する加水分解性シランが50モル%乃至100モル%の割合となる加水分解性シランの加水分解縮合物のシラノール基がアルコールと反応したポリシロキサンを含む被覆組成物。加水分解性シランが式(1): RaSi(R2)4-a 式(1) において、aが0である加水分解性シランを50モル%乃至100モル%、aが1乃至2である加水分解性シランを0モル%乃至50モル%の割合で含むものである。アルコールがプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル又は3-メトキシブタノールである。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)