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1. (WO2018066360) DISPOSITIF D'EXAMEN, PROCÉDÉ D'EXAMEN, PROGRAMME INFORMATIQUE ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
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N° de publication : WO/2018/066360 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/033948
Date de publication : 12.04.2018 Date de dépôt international : 20.09.2017
CIB :
G01B 15/02 (2006.01) ,G01B 11/00 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01) ,G01N 21/3586 (2014.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
15
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de radiations d'ondes ou de particules
02
pour mesurer l'épaisseur
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06
pour mesurer l'épaisseur
[IPC code unknown for G01N 21/3586]
Déposants :
パイオニア株式会社 PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 東京都文京区本駒込二丁目28番8号 28-8, Honkomagome 2-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1130021, JP
Inventeurs :
落合 孝典 OCHIAI, Takanori; JP
小笠原 昌和 OGASAWARA, Masakazu; JP
Mandataire :
江上 達夫 EGAMI, Tatsuo; JP
中村 聡延 NAKAMURA, Toshinobu; JP
Données relatives à la priorité :
2016-19899007.10.2016JP
Titre (EN) EXAMINATION DEVICE, EXAMINATION METHOD, COMPUTER PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM
(FR) DISPOSITIF D'EXAMEN, PROCÉDÉ D'EXAMEN, PROGRAMME INFORMATIQUE ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム及び記録媒体
Abrégé :
(EN) This examination device 100 is provided with: an irradiation unit 110 which irradiates a sample S having a plurality of layers L with terahertz waves THz; a detection unit 130 which detects the terahertz waves from the sample and acquires a detection waveform DW; and an estimation unit 1523 which, on the basis of a second boundary surface pulse wave PW2 which appears in the detection waveform, and corresponds to a second boundary surface B2 further from a surface B0 than a first boundary surface B1, and a library 1522a indicating estimation waveforms EW of terahertz waves from samples, estimates the position of the second boundary surface.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'examen 100 pourvu : d'une unité de rayonnement 110 qui soumet un échantillon S comportant une pluralité de couches L à un rayonnement d'ondes térahertz THz ; d'une unité de détection 130 qui détecte les ondes térahertz à partir de l'échantillon et qui acquiert une forme d'onde de détection DW ; et d'une unité d'estimation 1523 qui, sur la base d'une seconde onde d'impulsion de surface limite PW2 apparaissant dans la forme d'onde de détection et correspondant à une seconde surface limite B2 située plus loin d'une surface B0 qu'une première surface limite B1, et d'une bibliothèque 1522a indiquant des formes d'ondes d'estimation EW d'ondes térahertz à partir d'échantillons, estime la position de la seconde surface limite.
(JA) 検査装置100は、複数の層Lが積層された試料Sにテラヘルツ波THzを照射する照射部110と、試料からのテラヘルツ波を検出して検出波形DWを取得する検出部130と、第1界面B1よりも表面B0から遠い第2界面B2に対応して検出波形に現れる第2界面パルス波PW2と、試料からのテラヘルツ波の推定波形EWを示すライブラリ1522aとに基づいて、第2界面の位置を推定する推定部1523とを備える。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)