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1. (WO2018066359) DISPOSITIF D'EXAMEN, PROCÉDÉ D'EXAMEN, PROGRAMME D'ORDINATEUR ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT

Pub. No.:    WO/2018/066359    International Application No.:    PCT/JP2017/033947
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 11/00
G01B 11/06
G01B 15/02
G01N 21/3581
Applicants: PIONEER CORPORATION
パイオニア株式会社
Inventors: OCHIAI, Takanori
落合 孝典
OGASAWARA, Masakazu
小笠原 昌和
Title: DISPOSITIF D'EXAMEN, PROCÉDÉ D'EXAMEN, PROGRAMME D'ORDINATEUR ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
Abstract:
L'invention concerne un dispositif d'examen (100) pourvu : d'une unité d'irradiation (110) qui soumet un échantillon S comportant une pluralité de couches L à des ondes térahertz THz ; d'une unité de détection (130) qui détecte les ondes térahertz à partir de l'échantillon et qui acquiert une forme d'onde de détection DW ; et d'une unité d'estimation (1523) qui, sur la base du degré a de clarté de la forme d'onde de détection, de la forme d'onde de détection et d'une bibliothèque (1522a) indiquant des formes d'ondes d'estimation EW d'ondes térahertz, estime les positions de surfaces limites B1, B2.