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1. (WO2018066315) OUTIL DE TRAITEMENT ÉLECTROLYTIQUE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT ÉLECTROLYTIQUE

Pub. No.:    WO/2018/066315    International Application No.:    PCT/JP2017/032675
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Sep 12 01:59:59 CEST 2017
IPC: C25D 21/12
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: HOSHINO, Tomohisa
星野 智久
HAMADA, Masato
▲濱▼田 正人
Title: OUTIL DE TRAITEMENT ÉLECTROLYTIQUE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT ÉLECTROLYTIQUE
Abstract:
L'invention concerne un outil de traitement électrolytique qui soumet un substrat à traiter à un traitement électrolytique, l'outil de traitement électrolytique comprenant : un corps de base en forme de plaque plate ; une électrode disposée sur le corps de base ; au moins trois bornes élastiques qui sont disposées sur le corps de base et qui viennent en contact avec une partie circonférentielle externe du substrat à traiter ; et une unité de détection qui détecte électriquement qu'au moins l'une des bornes a été mise en contact avec le substrat à traiter.