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1. (WO2018066286) DISPOSITIF DE BALAYAGE DE FAISCEAU ET DISPOSITIF DE DESSIN DE MOTIF

Pub. No.:    WO/2018/066286    International Application No.:    PCT/JP2017/031737
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Sep 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: G02B 26/12
G02B 26/10
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: KATO Masaki
加藤正紀
KITO Yoshiaki
鬼頭義昭
Title: DISPOSITIF DE BALAYAGE DE FAISCEAU ET DISPOSITIF DE DESSIN DE MOTIF
Abstract:
Une unité de dessin (Un) est pourvue d'un système de lentille fθ (FT) sur lequel un faisceau de traitement (LBn) dévié par une surface réfléchissante (RP) d'un miroir polygonal (PM) ayant un angle variable devient incident, et qui condense le faisceau de traitement (LBn) sur un substrat (P) sous la forme d'une lumière ponctuelle (SP). La lumière ponctuelle (SP) est balayée en fonction du changement de l'angle de la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM). L'unité de dessin (Un) comprend: une partie de transmission de faisceau (60a) qui projette, sur la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM), un faisceau (Bga) pour détecter un point de départ auquel la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM) a un angle prescrit; un miroir réfléchissant (MRa) sur lequel le faisceau (Bgb) réfléchi par la surface réfléchissante (RP) devient incident, et qui réfléchit ledit faisceau vers la surface réfléchissante (RP); et une unité de détection (60b) qui émet un signal de point de départ (SZn) sur la base du faisceau (Bgd) réfléchi à nouveau par la surface réfléchissante (RP).