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1. (WO2018065559) DISPOSITIF D’ANALYSE SPECTROMÉTRIQUE DE MASSE ET DE RENDU TRIDIMENSIONNEL DE LA SURFACE D’ÉCHANTILLONS

Pub. No.:    WO/2018/065559    International Application No.:    PCT/EP2017/075434
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 07 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 49/00
H01J 49/16
Applicants: JUSTUS-LIEBIG-UNIVERSITÄT GIESSEN
Inventors: SPENGLER, Bernard
KOMPAUER, Mario
Title: DISPOSITIF D’ANALYSE SPECTROMÉTRIQUE DE MASSE ET DE RENDU TRIDIMENSIONNEL DE LA SURFACE D’ÉCHANTILLONS
Abstract:
L'invention concerne un dispositif d’analyse spectrométrique de masse et de rendu tridimensionnel de la surface d’un échantillon comportant : au moins une source d’énergie (20) pour la désorption et/ou l’ionisation d’atomes de la surface d’un échantillon, une table à déplacement (1) et une source de lumière (8, 10). Ledit dispositif comporte en outre une unité de commande (30) pour la commande de la table à déplacement (1) de sorte que la surface d’un échantillon peut être irradié pas à pas ou selon un mouvement continuel de manière à former des points par la source d’énergie (20, 10) et par la source de lumière (8, 10). Ledit dispositif comporte en outre une interface (50) pour pouvoir échanger des données avec un spectromètre de masse de sorte que des données de mesure peuvent être communiquées par un spectromètre de masse par le biais de l’interface (50) à l’unité d’évaluation de sorte que la composition chimique du point de mesure (60) peut être déterminée par l’unité d’évaluation (40). Ledit dispositif comporte en outre un système optique (3), un détecteur de lumière (4) et une unité d’évaluation (40). Selon l’invention, la source de lumière (8, 10), le système optique (3) et le détecteur de lumière (4) coopèrent de sorte qu’un point de mesure (60) est généré par la source de lumière (8, 10) et par le biais du système optique sur un échantillon et la lumière diffusée ou réfléchie par le point de mesure (60) peut être détectée par le détecteur de lumière (4) avec le système optique monté en amont (3). De cette façon, la surface d’un échantillon peut être détectée d’une manière tridimensionnelle et la topographie de cette surface peut être déterminée par l’unité d’évaluation (40).