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1. (WO2018065321) PROCEDE D'INJECTION D'ESPECES CHIMIQUES EN PHASE GAZEUSE SOUS FORME PULSEE AVEC PLASMA
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N° de publication : WO/2018/065321 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/074837
Date de publication : 12.04.2018 Date de dépôt international : 29.09.2017
CIB :
C23C 16/44 (2006.01) ,C23C 16/448 (2006.01) ,C23C 16/455 (2006.01)
[IPC code unknown for C23C 16/44][IPC code unknown for C23C 16/448][IPC code unknown for C23C 16/455]
Déposants :
KOBUS SAS [FR/FR]; 611 rue Aristide Bergès 38330 MONTBONNOT-SAINT-MARTIN, FR
Inventeurs :
PIALLAT, Fabien; FR
NAL, Patrice; FR
VITIELLO, Julien; FR
Mandataire :
IP TRUST; M. Pierre BREESE 2, rue de Clichy 75009 Paris, FR
Données relatives à la priorité :
165955804.10.2016FR
Titre (EN) METHOD FOR INJECTING CHEMICAL SPECIES IN THE GAS PHASE IN PLASMA-PULSED FORM
(FR) PROCEDE D'INJECTION D'ESPECES CHIMIQUES EN PHASE GAZEUSE SOUS FORME PULSEE AVEC PLASMA
Abrégé :
(EN) The present invention concerns a method for injecting chemical species in the gas phase into a deposition chamber (30) of a chemical vapour deposition reactor comprising: - A) injecting a first chemical species in the gas phase into the deposition chamber via a first injection channel (40) according to a first pulse sequence; - B) injecting a second chemical species in the gas phase into the deposition chamber via a second injection channel (50) according to a second pulse sequence out of phase with respect to the first pulse sequence; said method being characterised by the generation, sequentially, of a plasma of the first chemical species and/or of the second chemical species during at least one pulse of at least one of the sequences A) and B).
(FR) La présente invention concerne un procédé d'injection d'espèces chimiques en phase gazeuse dans une chambre (30) de dépôt d'un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur, comprenant : -A) l'injection d'une première espèce chimique en phase gazeuse dans la chambre de dépôt par une première voie d'injection (40) selon une première séquence d'impulsions; -B) l'injection d'une seconde espèce chimique en phase gazeuse dans la chambre de dépôt par une seconde voie d'injection (50) selon une seconde séquence d'impulsions déphasée par rapport à la première séquence d'impulsions; ledit procédé étant caractérisé par la génération, de manière séquentielle, d'un plasma de la première espèce chimique et/ou de la seconde espèce chimique pendant au moins une impulsion d'au moins une des séquences A) et B).
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)