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1. (WO2018065315) DISPOSITIF POUR AMENER UN GAZ DANS UN REACTEUR DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE
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N° de publication :    WO/2018/065315    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/074799
Date de publication : 12.04.2018 Date de dépôt international : 29.09.2017
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/509 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : KOBUS SAS [FR/FR]; 611 rue Aristide Bergès 38330 MONTBONNOT-SAINT-MARTIN (FR)
Inventeurs : NAL, Patrice; (FR).
BOREAN, Christophe; (FR)
Mandataire : PONTET ALLANO & ASSOCIES; Parc Les Algorithmes, Bâtiment PLATON CS 70003 SAINT-AUBIN 91192 GIF SUR YVETTE cedex (FR)
Données relatives à la priorité :
1659559 04.10.2016 FR
Titre (EN) DEVICE FOR CONVEYING A GAS INTO A CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION REACTOR
(FR) DISPOSITIF POUR AMENER UN GAZ DANS UN REACTEUR DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention concerns a gas circulation device (1) for conveying a gas into a chemical vapour deposition reactor, comprising a conduit (2) with a first end (4) intended to open into said reactor, being polarised at a radiofrequency potential (V) and a second end (3) electrically polarised at a reference potential (V0), the device being characterised in that it further comprises a means (10a-10e) for applying potential for locally applying at least one determined electrical potential to the conduit (2) between the first and the second end, so as to locally polarise the gas in said conduit at an intermediate electrical potential between the radiofrequency potential and the reference potential.
(FR)La présente invention concerne un dispositif (1) de circulation de gaz pour amener un gaz dans un réacteur de dépôt chimique en phase gazeuse, comprenant une conduite (2) avec une première extrémité (4) destinée à déboucher dans ledit réacteur en étant polarisée à un potentiel radiofréquence (V ) et une seconde extrémité (3) électriquement polarisée à un potentiel de référence (V0), le dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend en outre un moyen (10a-10e) d'application de potentiel pour appliquer localement au moins un potentiel électrique déterminé à la conduite (2) entre la première et la seconde extrémité, de sorte à polariser localement le gaz dans ladite conduite à un potentiel électrique intermédiaire entre le potentiel radiofréquence et le potentiel de référence.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)