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1. (WO2018065067) APPAREIL POUR TRANSPORTER UN SUBSTRAT, SYSTÈME POUR TRAITER UN SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/065067    International Application No.:    PCT/EP2016/074050
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 08 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/67
H01L 21/677
Applicants: APPLIED MATERIALS ITALIA S.R.L.
Inventors: BOSCOLO MARCHI, Enrico
CELLERE, Giorgio
Title: APPAREIL POUR TRANSPORTER UN SUBSTRAT, SYSTÈME POUR TRAITER UN SUBSTRAT, ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne un appareil (100) pour le transport d'un substrat (10). L'appareil (100) comprend une première ligne de transport linéaire (110) configurée pour le transport d'un support de substrat mobile (20) dans une première direction (1), une seconde ligne de transport linéaire (120) configurée pour le transport du support de substrat mobile (20) dans une seconde direction (2) différente de la première direction (1), et un système de transfert (130) pour transférer le support de substrat mobile (20) au moins de la première ligne de transport linéaire (110) à la deuxième ligne de transport linéaire (120).