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1. (WO2018064308) APPAREIL DE CHAUFFAGE À CONTACT THERMIQUE CONTRÔLÉ
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N° de publication :    WO/2018/064308    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/053969
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 28.09.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : MOMENTIVE PERFORMANCE MATERIALS INC. [US/US]; 260 Hudson River Road Waterford, New York 12188 (US)
Inventeurs : LU, Zhong-Hao; (US)
Mandataire : SLABY, Scott M.; (US)
Données relatives à la priorité :
15/281,605 30.09.2016 US
Titre (EN) HEATING APPARATUS WITH CONTROLLED THERMAL CONTACT
(FR) APPAREIL DE CHAUFFAGE À CONTACT THERMIQUE CONTRÔLÉ
Abrégé : front page image
(EN)A heater assembly is provided having a configuration to promote more uniform heating and temperature distribution to the heating surface. A heater assembly as disclosed herein comprises a bottom plate comprising a heating element and a top plate having an upper surface for heating a substrate and a lower surface that contacts the bottom plate. The upper plate is provide such that the lower surface has a surface topography such that the contact points between the upper plate and the lower plate.
(FR)La présente invention concerne un ensemble de chauffage pourvu d'une configuration pour favoriser une distribution plus uniforme du chauffage et de la température à la surface de chauffage. Un ensemble de chauffage tel que décrit ici comprend une plaque inférieure comprenant un élément chauffant et une plaque supérieure ayant une surface supérieure pour chauffer un substrat et une surface inférieure qui entre en contact avec la plaque inférieure. La plaque supérieure est conçue de telle sorte que la surface inférieure présente une topographie de surface de telle sorte que les points de contact entre la plaque supérieure et la plaque inférieure sont limités.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)