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1. (WO2018064308) APPAREIL DE CHAUFFAGE À CONTACT THERMIQUE CONTRÔLÉ

Pub. No.:    WO/2018/064308    International Application No.:    PCT/US2017/053969
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
Applicants: MOMENTIVE PERFORMANCE MATERIALS INC.
Inventors: LU, Zhong-Hao
Title: APPAREIL DE CHAUFFAGE À CONTACT THERMIQUE CONTRÔLÉ
Abstract:
La présente invention concerne un ensemble de chauffage pourvu d'une configuration pour favoriser une distribution plus uniforme du chauffage et de la température à la surface de chauffage. Un ensemble de chauffage tel que décrit ici comprend une plaque inférieure comprenant un élément chauffant et une plaque supérieure ayant une surface supérieure pour chauffer un substrat et une surface inférieure qui entre en contact avec la plaque inférieure. La plaque supérieure est conçue de telle sorte que la surface inférieure présente une topographie de surface de telle sorte que les points de contact entre la plaque supérieure et la plaque inférieure sont limités.