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1. (WO2018064227) RÉFLECTOMÈTRE SPECTROSCOPIQUE INFRAROUGE POUR LA MESURE DE STRUCTURES À RAPPORT DE FORME ÉLEVÉ

Pub. No.:    WO/2018/064227    International Application No.:    PCT/US2017/053825
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 9/02
G01B 11/02
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: KRISHNAN, Shankar
WANG, David Y.
Title: RÉFLECTOMÈTRE SPECTROSCOPIQUE INFRAROUGE POUR LA MESURE DE STRUCTURES À RAPPORT DE FORME ÉLEVÉ
Abstract:
La présente invention concerne des procédés et des systèmes permettant d'effectuer des mesures de réflectométrie spectroscopiques de structures semiconductrices à des longueurs d'ondes infrarouges. Dans certains modes de réalisation, des longueurs d'onde de mesure couvrant une plage allant de 750 nanomètres à 2500 nanomètres, ou plus, sont utilisées. Selon un aspect, des mesures de réflectométrie sont effectuées à des angles obliques pour réduire l'influence de réflexions sur la face arrière sur des résultats de mesure. Selon un autre aspect, une large plage de longueurs d'onde infrarouges est détectée par un détecteur qui comprend de multiples zones photosensibles ayant des caractéristiques de sensibilité différentes. La lumière collectée est dispersée de façon linéaire sur la surface du détecteur en fonction de la longueur d'onde. Chaque zone photosensible différente est agencée sur le détecteur pour détecter une plage différente de longueurs d'onde incidentes. Ainsi, une large plage de longueurs d'onde infrarouges est détectée avec un rapport signal/bruit élevé par un seul détecteur.