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1. (WO2018063865) APPAREIL ET PROCÉDÉS DE PULVÉRISATION À ARC RÉDUIT

Pub. No.:    WO/2018/063865    International Application No.:    PCT/US2017/052365
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/34
H01L 21/687
H01J 37/32
C23C 14/35
Applicants: CORNING INCORPORATED
Inventors: OUYANG, Xu
PAN, Yale G
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉS DE PULVÉRISATION À ARC RÉDUIT
Abstract:
Un appareil conçu pour pulvériser un matériau sur une pluralité de substrats comprend un châssis métallique rotatif, une pluralité de supports, et un isolant disposé entre le châssis métallique et la pluralité de supports. La pluralité de supports sont conçus pour contenir un ou plusieurs dispositifs d'éclairage qui fixent la pluralité de substrats, et chaque support de la pluralité de supports est conçu pour se coupler au châssis métallique. L'isolant est disposé entre le châssis métallique et la pluralité de supports à des emplacements où la pluralité de supports sont couplés au châssis métallique de telle sorte que la pluralité de supports sont électriquement isolés du cadre métallique.