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1. (WO2018063848) CARACTÉRISATION D'ALIGNEMENT DE CAPTEUR D'ÉMISSIVITÉ INTÉGRÉE

Pub. No.:    WO/2018/063848    International Application No.:    PCT/US2017/052139
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
G01N 21/95
H01L 21/68
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Inventors: BAGGETT, John
FERRARA, Joseph
Title: CARACTÉRISATION D'ALIGNEMENT DE CAPTEUR D'ÉMISSIVITÉ INTÉGRÉE
Abstract:
Un système d'alignement de pièce à usiner a un support de pièce à usiner destiné à supporter une pièce à usiner. Un premier émetteur de lumière dirige un premier faisceau lumineux vers la pièce à usiner. Un premier récepteur de lumière reçoit le premier faisceau lumineux. Un dispositif de rotation fait tourner le support de pièce à usiner autour d'un axe de support. Un second émetteur de lumière dirige un second faisceau lumineux vers une région périphérique de la pièce à usiner. Un second récepteur de lumière reçoit le second faisceau lumineux en même temps que la rotation de la pièce à usiner. Un dispositif de commande détermine la transmissivité de la pièce à usiner sur la base d'une émittance initiale totale du premier faisceau lumineux et une transmission du premier faisceau lumineux à travers la pièce à usiner. Le dispositif de commande détermine une position de la pièce à usiner par rapport à l'axe de support sur la base, au moins en partie, de la position de rotation de la pièce à usiner, d'une partie du second faisceau lumineux reçue et de la transmissivité déterminée.