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1. (WO2018063814) COMMUTATEUR RF MEMS AVEC ATTERRISSAGE À IMPACT PROCHE DE ZÉRO

Pub. No.:    WO/2018/063814    International Application No.:    PCT/US2017/051536
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 15 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01H 59/00
H01H 1/00
Applicants: CAVENDISH KINETICS, INC
Inventors: KNIPE, Richard L.
VAN KAMPEN, Robertus Petrus
HUFFMAN, James Douglas
BARRON, Lance
Title: COMMUTATEUR RF MEMS AVEC ATTERRISSAGE À IMPACT PROCHE DE ZÉRO
Abstract:
La présente invention concerne de manière générale la conception d'un commutateur ohmique MEMS qui permet un atterrissage à faible impact de la plaque mobile de dispositif MEMS sur le contact RF et une force de restauration élevée pour rompre les contacts pour améliorer la durée de vie du commutateur. Le commutateur comprend au moins une électrode de contact disposée au centre du dispositif de commutation et comporte également un montant d'atterrissage secondaire disposé à proximité du centre du dispositif de commutation. Le montant d'atterrissage secondaire s'étend jusqu'à une hauteur supérieure au-dessus du substrat par comparaison au contact RF de l'électrode de contact de telle sorte que la plaque mobile entre en contact avec le montant d'atterrissage secondaire tout d'abord, puis atterrit doucement sur le contact RF. Lors de la libération, la plaque mobile se dégage du contact RF avant le désengagement du montant d'atterrissage secondaire et a une durée de vie plus longue en raison de la force de restauration élevée.