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1. (WO2018063625) FOCALISATION DIRECTE AVEC COMPARTIMENTAGE D'IMAGE DANS DES OUTILS DE MÉTROLOGIE
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N° de publication : WO/2018/063625 N° de la demande internationale : PCT/US2017/048746
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 25.08.2017
CIB :
G06T 7/00 (2006.01) ,G02B 21/36 (2006.01) ,G02B 21/24 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
06
CALCUL; COMPTAGE
T
TRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
7
Analyse d'image, p.ex. à partir d'un mappage binaire pour obtenir un mappage non binaire
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
36
aménagés pour la photographie ou la projection
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
24
Structure du bâti ou statif
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
GUTMAN, Nadav; IL
GOLOVANEVSKY, Boris; IL
GLUZER, Noam; IL
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N.; US
Données relatives à la priorité :
62/400,96628.09.2016US
Titre (EN) DIRECT FOCUSING WITH IMAGE BINNING IN METROLOGY TOOLS
(FR) FOCALISATION DIRECTE AVEC COMPARTIMENTAGE D'IMAGE DANS DES OUTILS DE MÉTROLOGIE
Abrégé :
(EN) Focusing methods and modules are provided for metrology tools and systems. Methods comprise capturing image(s) of at least two layers of a ROI in an imaging target, binning the captured image(s), deriving a focus shift from the binned captured image(s) by comparing the layers, and calculating a focus position from the derived focus shift. Disclosed methods are direct, may be carried out in parallel to a part of the overlay measurement process and provide fast and simple focus measurements that improve metrology performance.
(FR) La présente invention concerne des procédés et des modules de focalisation pour des outils et des systèmes de métrologie. Les procédés comprennent la capture d'une ou de plusieurs images d'au moins deux couches d'une région d'intérêt dans une cible d'imagerie, le compartimentage de l'image ou des images capturées, l'obtention d'un décalage de foyer à partir de l'image ou des images capturées compartimentées en comparant les couches, et le calcul d'une position de foyer à partir du décalage de foyer obtenu. Les procédés selon l'invention sont directs, peuvent être réalisés en parallèle à une partie du processus de mesure de superposition et fournissent des mesures de foyer rapides et simples qui améliorent les performances de métrologie.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)