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1. (WO2018063601) DIFFUSEUR AVEC HCG D'ANGLE

Pub. No.:    WO/2018/063601    International Application No.:    PCT/US2017/048262
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Aug 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 16/455
C23C 16/50
C23C 16/458
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: ZHAO, Lai
FURUTA, Gaku
CHOI, Soo Young
PARK, Beom Soo
Title: DIFFUSEUR AVEC HCG D'ANGLE
Abstract:
L'invention concerne généralement une plaque de distribution de gaz assurant un dépôt uniforme. La plaque de distribution de gaz comprend de multiples parties concaves situées sur le côté aval pour assurer un dépôt uniforme dans des zones d'angle de la chambre de traitement.