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1. (WO2018063404) TRANSISTOR FINFET À TENSION DE CANAL INDUITE PAR L'INTERMÉDIAIRE D'UN MATÉRIEL DE TENSION INSÉRÉ DANS UNE ZONE D'UNE FICHE D'AILETTE ACTIVÉE PAR EXPOSITION DE LA FACE ARRIÈRE

Pub. No.:    WO/2018/063404    International Application No.:    PCT/US2016/055029
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 29/78
H01L 29/66
H01L 29/417
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: LILAK, Aaron D.
MA, Sean T.
MEHANDRU, Rishabh
MORROW, Patrick
CEA, Stephen M.
Title: TRANSISTOR FINFET À TENSION DE CANAL INDUITE PAR L'INTERMÉDIAIRE D'UN MATÉRIEL DE TENSION INSÉRÉ DANS UNE ZONE D'UNE FICHE D'AILETTE ACTIVÉE PAR EXPOSITION DE LA FACE ARRIÈRE
Abstract:
Selon l'invention, un appareil à circuit intégré comprend un corps; un transistor formé sur une première partie du corps et comprenant un empilement de grilles et un canal défini dans le corps entre une source et un drain; et une fiche formée dans une seconde partie du corps et comprenant un matériel utilisable pour appliquer une tension sur la première partie du corps. Un procédé de formation d'un dispositif à circuit intégré consiste: à former un corps de transistor sur un substrat; à former un dispositif transistor dans une première partie du corps de transistor sur une première face du substrat; et à diviser le corps de transistor en au moins ladite première partie et une seconde partie, une fiche installée dans le corps de transistor comprenant un matériel utilisable pour appliquer une tension sur la première partie du corps, le matériel étant introduit à travers une seconde face du substrat.