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1. (WO2018063402) NANOPARTICULES D'OXYDE MÉTALLIQUE EN TANT QUE MATÉRIAUX DE REMPLISSAGE DE MASQUE DUR

Pub. No.:    WO/2018/063402    International Application No.:    PCT/US2016/055025
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/033
G03F 7/20
H01L 21/768
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: KRYSAK, Marie
GSTREIN, Florian
CHANDHOK, Manish
Title: NANOPARTICULES D'OXYDE MÉTALLIQUE EN TANT QUE MATÉRIAUX DE REMPLISSAGE DE MASQUE DUR
Abstract:
Selon l'invention, une composition diélectrique comprend une particule d'oxyde métallique comprenant un diamètre inférieur ou égal à 5 nanomètres, coiffée d'un ligand organique à un rapport d'au moins 1:1. Un procédé consiste : à synthétiser des particules d'oxyde métallique comprenant un diamètre inférieur ou égal à 5 nanomètres ; à coiffer les particules d'oxyde métallique à l'aide d'un ligand organique à un rapport d'au moins 1:1. Un procédé consiste : à former une couche d'interconnexion sur un substrat semi-conducteur ; à former des premier et second matériaux de masque dur différents sur la couche d'interconnexion, le premier matériau de masque dur et/ou le second matériau de masque dur étant formé sur une zone de cible de couche d'interconnexion en vue de la réception d'un trou d'interconnexion, et comprenant des nanoparticules d'oxyde métallique ; à former une ouverture sur la couche d'interconnexion de manière sélective à travers le premier matériau de masque dur ou le second matériau de masque dur.