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1. (WO2018063372) CANAL DE SUPER-RÉSEAU INCLUS DANS UNE TRANCHÉE
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N° de publication : WO/2018/063372 N° de la demande internationale : PCT/US2016/054911
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 30.09.2016
CIB :
H01L 29/78 (2006.01) ,H01L 29/66 (2006.01) ,H01L 29/423 (2006.01)
[IPC code unknown for H01L 29/78][IPC code unknown for H01L 29/66][IPC code unknown for H01L 29/423]
Déposants :
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
HUANG, Cheng-Ying; US
METZ, Matthew V.; US
RACHMADY, Willy; US
DEWEY, Gilbert; US
KAVALIEROS, Jack T.; US
Mandataire :
RICHARDS, Edwin E.; US
TROP, Timothy N.; US
ROZMAN, Mark J.; US
GARZA, John C.; US
PRUNER JR., Fred G.; US
RIFAI, D'Ann Naylor; US
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUPPERLATICE CHANNEL INCLUDED IN A TRENCH
(FR) CANAL DE SUPER-RÉSEAU INCLUS DANS UNE TRANCHÉE
Abrégé :
(EN) An embodiment includes an apparatus comprising: a trench included in an insulation layer that is formed on a substrate, the trench having a top portion and a bottom portion between the top portion and the substrate; a first layer which comprises a first material and is included in the bottom portion; and a superlattice, in the trench and on the first layer, including second and third layers that directly contact each other; wherein: (a) the second and third layers respectively include second and third materials, (b) the second and third materials have different chemical compositions from each other, and (c) the first layer is thicker than each of the second and third. Other embodiments are described herein.
(FR) Un mode de réalisation comprend un appareil comprenant: une tranchée incluse dans une couche d'isolation qui est formée sur un substrat, la tranchée ayant une partie supérieure et une partie inférieure entre la partie supérieure et le substrat; une première couche qui comprend un premier matériau et est incluse dans la partie inférieure; et un super-réseau, dans la tranchée et sur la première couche, comprenant des deuxième et troisième couches qui sont directement en contact l'une avec l'autre; (a) lesquelles deuxième et troisième couches comprennent respectivement des deuxième et troisième matériaux, (b) lesquels deuxième et troisième matériaux ont des compositions chimiques différentes les unes des autres, et (c) laquelle première couche est plus épaisse que chacun des deuxième et troisième matériaux. D'autres modes de réalisation sont décrits ici.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)