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1. (WO2018063257) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE DISTRIBUTION POUR DÉPÔT AUTOCATALYTIQUE

Pub. No.:    WO/2018/063257    International Application No.:    PCT/US2016/054533
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 18/16
H01L 21/67
H01L 21/288
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: REDDY, Harinath
SIMKA, Harsono S.
THOMAS, Christopher D.
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL DE DISTRIBUTION POUR DÉPÔT AUTOCATALYTIQUE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de dépôt autocatalytique à un seul substrat qui comprend un mandrin de serrage de pièce qui peut tourner autour d'un axe de rotation et être incliné autour d'un axe d'inclinaison. L'inclinaison du mandrin peut être réglée sur un angle d'inclinaison non nul pendant la distribution d'une solution de placage afin d'améliorer l'uniformité du temps de séjour de la solution de mouillage et/ou de placage sur toute la surface d'une pièce maintenue par le mandrin. L'angle d'inclinaison peut être seulement de quelques degrés par rapport à la solution de placage distribuée par une buse qui effectue un balayage au-dessus d'un côté haut du mandrin, le long d'un rayon de la pièce à pendant que le mandrin tourne. L'angle d'inclinaison peut être commandé de façon active pendant la distribution de la solution de placage. L'angle d'inclinaison peut être plus élevé au début de la distribution de la solution de placage qu'à l'arrêt de la distribution.