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1. (WO2018063257) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE DISTRIBUTION POUR DÉPÔT AUTOCATALYTIQUE
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N° de publication :    WO/2018/063257    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/054533
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 29.09.2016
CIB :
C23C 18/16 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01), H01L 21/288 (2006.01)
Déposants : INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : REDDY, Harinath; (US).
SIMKA, Harsono S.; (US).
THOMAS, Christopher D.; (US)
Mandataire : HOWARD, James M.; (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHODS & APPARATUS FOR ELECTROLESS PLATING DISPENSE
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL DE DISTRIBUTION POUR DÉPÔT AUTOCATALYTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A single-substrate electroless (EL) plating apparatus including a workpiece chuck that is rotatable about rotation axis and inclinable about an axis of inclination. The chuck inclination may be controlled to a non-zero inclination angle during a dispense of plating solution to improve uniformity in the surface wetting and/or plating solution residence time across the a surface of a workpiece supported by the chuck. The angle of inclination may be only a few degrees off-level with the plating solution dispensed from a nozzle that scans over a high-side of the chuck along a radius of the workpiece while the chuck rotates. The angle of inclination may be actively controlled during dispense of the plating solution. The inclination angle may be larger at commencement of the plating solution dispense than at cessation of the dispense.
(FR)L'invention concerne un appareil de dépôt autocatalytique à un seul substrat qui comprend un mandrin de serrage de pièce qui peut tourner autour d'un axe de rotation et être incliné autour d'un axe d'inclinaison. L'inclinaison du mandrin peut être réglée sur un angle d'inclinaison non nul pendant la distribution d'une solution de placage afin d'améliorer l'uniformité du temps de séjour de la solution de mouillage et/ou de placage sur toute la surface d'une pièce maintenue par le mandrin. L'angle d'inclinaison peut être seulement de quelques degrés par rapport à la solution de placage distribuée par une buse qui effectue un balayage au-dessus d'un côté haut du mandrin, le long d'un rayon de la pièce à pendant que le mandrin tourne. L'angle d'inclinaison peut être commandé de façon active pendant la distribution de la solution de placage. L'angle d'inclinaison peut être plus élevé au début de la distribution de la solution de placage qu'à l'arrêt de la distribution.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)