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1. (WO2018063242) ENSEMBLE HYBRIDE BROSSE ET ABRASIF DE CONDITIONNEUR DE TAMPON DE PLANARISATION CHIMICO-MÉCANIQUE (CMP) POUR UN PROCESSUS DE PRÉPARATION ET DE RESTAURATION-CONDITIONNEMENT EN PLUSIEURS ÉTAPES D'UN TAMPON DE PLANARISATION CMP
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N° de publication :    WO/2018/063242    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/054427
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 29.09.2016
CIB :
B24B 53/017 (2012.01), B24B 37/20 (2012.01), B24B 37/34 (2012.01), B24B 53/00 (2006.01), B24B 53/12 (2006.01)
Déposants : INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission Boulevard Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : TREGUB, Alexander; (US).
MOLLOY, Oisin J.; (IE)
Mandataire : TEEL, Robert R.; (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CHEMICAL-MECHANICAL PLANARIZATION (CMP) PAD CONDITIONER BRUSH-AND-ABRASIVE HYBRID FOR MULTI-STEP, PREPARATION- AND RESTORATION-CONDITIONING PROCESS OF CMP PAD
(FR) ENSEMBLE HYBRIDE BROSSE ET ABRASIF DE CONDITIONNEUR DE TAMPON DE PLANARISATION CHIMICO-MÉCANIQUE (CMP) POUR UN PROCESSUS DE PRÉPARATION ET DE RESTAURATION-CONDITIONNEMENT EN PLUSIEURS ÉTAPES D'UN TAMPON DE PLANARISATION CMP
Abrégé : front page image
(EN)A multi-step conditioning process includes an initial step of preparation (i.e., pre-conditioning) and a subsequent step of restoration (i.e., conditioning and polishing intermittently, in situ conditioning, or combinations thereof). An example of such an enhancement is achieved using a CMP pad conditioner brush-and-abrasive hybrid that has a combination of brush bristles and abrasive elements. The abrasive elements are readily deployed for pre-conditioning as the brush bristles are pressed (flexed) so that they are not in use. And the brush bristles are readily deployed for conditioning during pad restoration as less downforce is applied to the conditioner. Thus, a universal hybrid conditioner is capable of alteration of its aggressiveness without physically changing a conditioner on a polisher tool.
(FR)La présente invention concerne un procédé de conditionnement en plusieurs étapes qui comprend une étape initiale de préparation (à savoir, un préconditionnement) et une étape ultérieure de restauration (à savoir, le conditionnement et le polissage par intermittence, le conditionnement in situ, ou des combinaisons de ces derniers). Un exemple d'une telle amélioration est obtenu à l'aide d'un ensemble hybride brosse et abrasif de conditionneur de tampon de planarisation CMP qui comporte une combinaison de poils de brosse et d'éléments abrasifs. Les éléments abrasifs sont facilement déployés pour un préconditionnement lorsque les poils de brosse sont pressés (fléchis) de telle sorte qu'ils ne soient pas destinés à être utilisés. Et les poils de brosse sont facilement déployés en vue d'un conditionnement pendant une restauration du tampon au fur et à mesure qu'une force inférieure est appliquée au conditionneur. Ainsi, un conditionneur hybride universel peut modifier son agressivité sans changer physiquement un conditionneur sur un outil de polissage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)