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1. (WO2018062710) UNITÉ DE SERRAGE DE MASSE ET ASSEMBLAGE SUPPORT DE SUBSTRAT LA COMPRENANT

Pub. No.:    WO/2018/062710    International Application No.:    PCT/KR2017/009729
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/32
H01L 21/687
C23C 14/50
C23C 16/458
H01L 21/02
Applicants: MICO CO., LTD.
주식회사 미코
Inventors: JUNG, Chul Ho
정철호
CHOI, Jin Young
최진영
LEE, Ju Sung
이주성
Title: UNITÉ DE SERRAGE DE MASSE ET ASSEMBLAGE SUPPORT DE SUBSTRAT LA COMPRENANT
Abstract:
Une unité de serrage de masse pour mettre à la terre un élément creux ayant un creux et une charge de masse montée dans le creux comprend : un corps de serrage ayant une rainure de pénétration de façon à englober une partie externe de la charge de masse; une partie de liaison élastique en contact élastique avec l'intérieur de l'élément creux dans le creux et reliée au corps de serrage; et une partie de fixation pour fixer la partie de liaison élastique au corps de serrage. Par conséquent, l'unité de serrage peut connecter étroitement et électriquement la charge de masse et l'élément creux.