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1. (WO2018062508) DISPOSITIF DE MAINTIEN D'OBJET, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN PLAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MAINTIEN D'OBJET

Pub. No.:    WO/2018/062508    International Application No.:    PCT/JP2017/035547
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
H01L 21/68
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: AOKI, Yasuo
青木 保夫
Title: DISPOSITIF DE MAINTIEN D'OBJET, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN PLAT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MAINTIEN D'OBJET
Abstract:
La présente invention concerne un support de substrat (70) maintenant un substrat (P) qui comprend : de multiples mandrins (74) pourvus chacun d'une surface de maintien pour maintenir un substrat (P) et une partie d'aspiration et une partie de non-aspiration agencées sur le côté arrière de la surface de maintien ; des unités de base (72) auxquelles les parties d'aspiration des mandrins (74) sont aspirées ; une plaque de surface (50) ; et une unité de pipeline (62) qui est disposée entre la plaque de surface (50) et les unités de base (72) et qui comprend des conduites pour faire circuler un gaz à travers les parties non aspirantes des mandrins (74). Les mandrins (74) utilisent le gaz traversant les parties de non-aspiration en vue de maintenir le substrat (P), et un premier élément est retiré d'un élément de base lorsque l'aspiration de l'unité de base (72) par les parties d'aspiration est relâchée.