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1. (WO2018062500) DISPOSITIF DE CORPS MOBILE, PROCÉDÉ DE DÉPLACEMENT, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'AFFICHEUR À ÉCRAN PLAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2018/062500    International Application No.:    PCT/JP2017/035515
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
G01B 11/00
H01L 21/68
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: AOKI, Yasuo
青木 保夫
Title: DISPOSITIF DE CORPS MOBILE, PROCÉDÉ DE DÉPLACEMENT, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'AFFICHEUR À ÉCRAN PLAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de corps mobile pourvu : d'un support de substrat (32) qui maintient un substrat (P) et qui peut se déplacer dans les directions d'axe X et d'axe Y ; d'une platine de déplacement approximatif Y (24) qui peut se déplacer dans la direction d'axe Y ; d'un premier système de mesure qui acquiert des informations de position du support de substrat (32) au moyen de têtes (74x, 74y) disposées sur le support de substrat (32) et d'une échelle (72) prévue sur la platine de déplacement approximatif Y (24) ; d'un second système de mesure qui acquiert des informations de position de la platine de déplacement approximatif Y (24) au moyen de têtes (80x, 80y) disposées sur la platine de déplacement approximatif Y (24) et d'une échelle (78) ; et d'un système de commande qui commande la position du support de substrat (32) sur la base d'informations de position acquises par les premier et second systèmes de mesure. Le premier système de mesure projette un faisceau de mesure tout en déplaçant les têtes (74x, 74y) dans la direction d'axe X par rapport à l'échelle (72), et le second système de mesure projette un faisceau de mesure tout en déplaçant les têtes (80x, 80y) dans la direction d'axe Y par rapport à l'échelle (78).