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1. (WO2018062491) DISPOSITIF DE CORPS MOBILE, PROCÉDÉ DE DÉPLACEMENT, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN PLAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2018/062491    International Application No.:    PCT/JP2017/035494
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
G01B 11/00
G03F 7/22
G03F 9/00
H01L 21/68
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: AOKI, Yasuo
青木 保夫
Title: DISPOSITIF DE CORPS MOBILE, PROCÉDÉ DE DÉPLACEMENT, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉCRAN PLAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abstract:
Selon la présente invention, ce dispositif de corps mobile servant à déplacer un substrat (P) est pourvu : d'un support de substrat (32) qui maintient le substrat (P) et qui peut se déplacer dans les directions de l'axe X et de l'axe Y ; d'une platine de mouvement grossier Y (24) qui peut se déplacer dans la direction de l'axe Y ; d'un premier système de mesure qui acquiert des informations de position du support de substrat (32) au moyen de têtes (74x, 74y) disposées sur le support de substrat (32) et d'une échelle (72) disposée sur la platine de mouvement grossier Y (24) ; d'un second système de mesure qui acquiert des informations de position de la platine de mouvement grossier Y (24) au moyen de têtes (80x, 80y) disposées sur la platine de mouvement grossier Y (24) et d'une échelle (78) ; et d'un système de commande qui commande la position du support de substrat (32) sur la base des informations de position acquises par les premier et second systèmes de mesure. Le premier système de mesure irradie un faisceau de mesure tout en déplaçant les têtes (74x, 74y) dans la direction de l'axe X par rapport à l'échelle (72), et le second système de mesure irradie un faisceau de mesure tout en déplaçant les têtes (80x, 80y) dans la direction de l'axe Y par rapport à l'échelle (78).