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1. (WO2018061757) EMBALLAGE DE MASQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ D'EMBALLAGE DE MASQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR

Pub. No.:    WO/2018/061757    International Application No.:    PCT/JP2017/032938
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/04
H05B 33/10
H05B 33/14
Applicants: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
大日本印刷株式会社
Inventors: IKENAGA Chikao
池永 知加雄
OIKE Takumi
大池 卓己
MUKAIDA Tsukasa
向田 司
WATANABE Takeru
渡部 武
Title: EMBALLAGE DE MASQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ D'EMBALLAGE DE MASQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
Abstract:
La présente invention concerne un emballage de masque pour dépôt en phase vapeur qui comprend : une section de réception ; une section de recouvrement qui fait face à la section de réception ; et un masque pour dépôt en phase vapeur qui est disposé entre la section de réception et la section de recouvrement et qui présente des régions efficaces dans lesquelles sont formés de multiples trous traversants. La section de réception présente une première surface de contact qui fait face à la section de recouvrement et un évidement ménagé dans la première surface de contact. L'évidement est recouvert d'un premier film flexible. Les régions efficaces du masque pour dépôt en phase vapeur sont disposées au-dessus de l'évidement, le premier film flexible étant disposé entre celles-ci.