Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018061691) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM

Pub. No.:    WO/2018/061691    International Application No.:    PCT/JP2017/032216
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 08 01:59:59 CEST 2017
IPC: B05D 1/42
H01L 21/336
H01L 29/786
H01L 51/40
H01L 51/48
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: NAKAMURA Seigo
中村 誠吾
YAEGASHI Hiroyuki
八重樫 裕之
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM
Abstract:
L'invention concerne un procédé de production d'un film de haute qualité, qui est mince et qui présente une uniformité élevée dans l'épaisseur du film, etc. Le procédé de production, pour un film, consiste : à fournir, sur un substrat, une solution de matière première contenant un solvant et un matériau servant à former le film ; et à sécher le solvant en vue de former le film sur le substrat. Une lame de couchage servant à maintenir la solution de matière première sur le substrat est utilisée. La lame de couchage présente une surface en regard qui fait face à une surface du substrat, et au moins une surface latérale qui est disposée dans la périphérie de la surface en regard et qui vient en contact avec la solution de matière première. Le solvant dans la solution de matière première est séché le long d'une direction spécifique de telle sorte que le film est formé.