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1. (WO2018061636) CIRCUIT DE MESURE DE CAPACITÉ ET SYSTÈME DE MESURE DE CAPACITÉ
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N° de publication : WO/2018/061636 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/031762
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 04.09.2017
CIB :
G01R 27/26 (2006.01) ,H01G 13/00 (2013.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
27
Dispositions pour procéder aux mesures de résistance, de réactance, d'impédance, ou de caractéristiques électriques qui en dérivent
02
Mesure de résistances, de réactances, d'impédances réelles ou complexes, ou autres caractéristiques bipolaires qui en dérivent, p.ex. constante de temps
26
Mesure de l'inductance ou de la capacitance; Mesure du facteur de qualité, p.ex. en utilisant la méthode par résonance; Mesure de facteur de pertes; Mesure des constantes diélectriques
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
G
CONDENSATEURS; CONDENSATEURS, REDRESSEURS, DÉTECTEURS, DISPOSITIFS DE COMMUTATION, DISPOSITIFS PHOTOSENSIBLES OU SENSIBLES À LA TEMPÉRATURE, DU TYPE ÉLECTROLYTIQUE
13
Appareils spécialement adaptés à la fabrication de condensateurs; Procédés spécialement adaptés à la fabrication de condensateurs non prévus dans les groupes H01G4/-H01G11/144
Déposants :
株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 京都府長岡京市東神足1丁目10番1号 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555, JP
Inventeurs :
杉林 英明 SUGIBAYASHI, Hideaki; JP
中尾 元保 NAKAO, Motoyasu; JP
Mandataire :
鮫島 睦 SAMEJIMA, Mutsumi; JP
川端 純市 KAWABATA, Junichi; JP
Données relatives à la priorité :
2016-19206229.09.2016JP
Titre (EN) CAPACITANCE MEASURING CIRCUIT AND CAPACITANCE MEASURING SYSTEM
(FR) CIRCUIT DE MESURE DE CAPACITÉ ET SYSTÈME DE MESURE DE CAPACITÉ
(JA) 容量測定回路及び容量測定システム
Abrégé :
(EN) Provided is a capacitance measuring circuit, comprising: a front end circuit 2 that measures, from a sense terminal TS, a sense capacitance Cs of a MEMS capacitance sensor 1 which has a sense capacitor 10 between the sense terminal TS and a base terminal TB, a stray capacitor 11 between the base terminal TB and a guard terminal TG, and a stray capacitor 12 between the sense terminal TS and the guard terminal TG; a signal processing circuit 3; and a control circuit for setting the sense terminal TS and the guard terminal TG to the same potential in a prescribed period. Thus, the present invention makes it possible to measure electrostatic capacitance at a higher precision than the conventional technology without being influenced by the stray capacitance of the capacitance sensor.
(FR) La présente invention concerne un circuit de mesure de capacité, comprenant : un circuit d'extrémité avant (2) qui mesure, à partir d'une borne de détection (TS), une capacité de détection (Cs) d'un capteur de capacité MEMS (1) qui comporte un condensateur de détection (10) entre la borne de détection (TS) et une borne de base (TB), un condensateur parasite (11) entre la borne de base (TB) et une borne de protection (TG) et un condensateur parasite (12) entre la borne de détection (TS) et la borne de protection (TG); un circuit de traitement de signal (3); et un circuit de commande destiné à régler la borne de détection (TS) et la borne de protection (TG) au même potentiel pendant une période prescrite. Ainsi, la présente invention permet de mesurer la capacité électrostatique avec une précision plus importante que celle de la technologie classique sans être influencée par la capacité parasite du capteur de capacité.
(JA) 容量測定回路は、センス端子TSとベース端子TBとの間のセンス容量10と、ベース端子TBとガード端子TGとの間の浮遊容量11と、センス端子TSとガード端子TGとの間の浮遊容量12とを有するMEMS容量センサ1のセンス容量Csを、センス端子TSから測定するフロントエンド回路2及び信号処理回路3を備えた容量測定回路であって、所定期間において、センス端子TSとガード端子TGとを同一の電位にする制御回路を備える。従って、本発明によれば、容量センサの浮遊容量の影響を受けずに、従来技術に比較して高い精度で静電容量を測定することができる。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)