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1. (WO2018061145) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, SYSTÈME DE DÉTECTION DE VIBRATION, ET PROGRAMME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2018/061145 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/078820
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 29.09.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
Déposants :
株式会社KOKUSAI ELECTRIC KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区神田鍛冶町三丁目4番地 3-4, Kandakaji-cho, Chiyoda-ku, TOKYO 1010045, JP
Inventeurs :
大石 護 OISHI, Mamoru; JP
松田 康弘 MATSUDA, Yasuhiro; JP
西田 政哉 NISHIDA, Masaya; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, VIBRATION DETECTION SYSTEM, AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, SYSTÈME DE DÉTECTION DE VIBRATION, ET PROGRAMME
(JA) 基板処理装置、振動検出システム及びプログラム
Abrégé :
(EN) The purpose of the present invention is to reduce risks to productivity caused by positional deviation of a substrate. Provided is a configuration comprising: a placement part where a substrate container is placed; a substrate holding tool where the substrate to be stored in the substrate container is held; conveyance mechanisms for delivering the substrate between the substrate container placed on the placement part and the substrate holding tool and for performing conveyance operations such as raising/lowering and rotating the substrate holding tool; a detection unit for detecting vibrations, provided in at least one conveyance mechanism from among the conveyance mechanisms; a storage unit for pre-registering the natural frequency and threshold value of the substrate; and a monitoring unit for monitoring whether a vibration frequency, which is based on conversion data that has been converted from detection data detected by the detection unit, matches the natural frequency of the substrate by comparing the strength of the vibration based on the conversion data with the threshold value.
(FR) La présente invention a pour objet de réduire les risques de productivité provoqués par un écart de position d'un substrat. L'invention réalise à cet effet une configuration comprenant : une partie de placement dans laquelle est placé un contenant à substrat; un outil de maintien de substrat dans lequel est maintenu le substrat à stocker dans le contenant à substrat; des mécanismes de transport destinés à délivrer le substrat entre le contenant à substrat placé sur la partie de placement et l'outil de maintien de substrat et à effectuer des opérations de transport telles que l'élévation/l'abaissement et la rotation de l'outil de maintien de substrat; une unité de détection destinées à détecter des vibrations, disposée dans au moins un mécanisme de transport parmi les mécanismes de transport; une unité de stockage destinée à pré-enregistrer la fréquence naturelle et la valeur de seuil du substrat; et une unité de surveillance destinée à surveiller si une fréquence de vibration, laquelle est basée sur des données de conversion qui ont été converties à partir de données de détection détectées par l'unité de détection, correspond à la fréquence naturelle du substrat en comparant l'intensité de la vibration sur la base des données de conversion à la valeur de seuil ou non.
(JA) 本発明は、基板の位置ズレによる生産性へのリスクを低減することを目的とする。基板収容器を載置する載置部と、基板収容器内に収納される基板が保持される基板保持具と、載置部に載置された基板収容器と基板保持具との間で基板の受渡し、基板保持具の昇降及び回転等の搬送動作を行う各搬送機構と、該各搬送機構のうちいずれか一つ以上の搬送機構に設けられ、振動を検出する検出部と、基板の固有振動数及びしきい値を予め登録する記憶部と、検出部の検出した検出データから変換された変換データに基づいた振動の強さと前記しきい値を比較し、変換データに基づいた振動数と基板の固有振動数と一致しているか監視する監視部と、を備えた構成が提供される。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)