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1. (WO2018061107) APPAREIL DE MONTAGE DE PUCES

Pub. No.:    WO/2018/061107    International Application No.:    PCT/JP2016/078618
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 29 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/52
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: KAWAGUCHI, Koji
河口 浩二
ICHIKAWA, Shigeto
市川 繁人
Title: APPAREIL DE MONTAGE DE PUCES
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de montage de composants qui monte, sur un objet, une puce D devant être saisie parmi des puces D fixées à une feuille de puce (63), en saisissant la puce D au moyen d'une buse d'aspiration (24) tout en poussant la puce D vers le haut au moyen d'une broche de poussée vers le haut (73) du côté arrière de la feuille de puce (63). L'appareil de montage de composants mesure une charge F appliquée à la buse d'aspiration lorsque la puce est poussée vers le haut au moyen de la broche de poussée, dans un état où la buse d'aspiration est pressée contre la puce, et établit qu'une fissure s'est produite dans la puce lorsque la charge F est soudainement diminuée (S140). Lorsqu'il est établi qu'une fissure s'est produite, l'appareil de montage de composants abaisse la broche de poussée et la buse d'aspiration (S160, S170) et ramène la puce fissurée à la position d'origine sur la feuille de puce en fournissant une pression positive à la buse d'aspiration (S180).