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1. (WO2018061067) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUT

Pub. No.:    WO/2018/061067    International Application No.:    PCT/JP2016/078331
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 28 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 21/956
H01L 21/66
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: HONDA Toshifumi
本田 敏文
URANO Takahiro
浦野 貴裕
HATANO Hisashi
波多野 央
SAKURAI Hironori
櫻井 洋憲
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUT
Abstract:
Dans la présente invention, des classes de défauts pour des défauts d'un objet inspecté sont reçues qui peuvent être identifiées comme des vrais positifs ou des faux positifs, et une détermination est faite quant à savoir si les nombres de faux positifs et de vrais positifs sont insuffisants pour le réglage d'un paramètre d'extraction de défaut pour une zone prescrite. Si les nombres sont déterminés comme étant insuffisants, une valeur d'élément défaut est extraite de l'extérieur de la zone prescrite, la valeur d'élément défaut extraite de l'extérieur de la zone prescrite est ajoutée à et agrégée avec la valeur d'élément défaut extraite de la zone prescrite, et la valeur d'élément défaut agrégée est affichée pour un ajustement de paramètre d'extraction de défaut.