Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018060729) STRUCTURE DE GUIDE D'ONDES

Pub. No.:    WO/2018/060729    International Application No.:    PCT/GB2017/052931
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01S 5/06
H01S 5/20
G02F 1/01
H01S 5/024
H01S 5/22
H01S 5/227
H01S 5/32
G02B 6/12
Applicants: OCLARO TECHNOLOGY LIMITED
Inventors: DAVIES, Samuel
KEARLEY, Mark
FARWELL, Selina
Title: STRUCTURE DE GUIDE D'ONDES
Abstract:
L'invention concerne une structure de guide d'ondes comprenant un guide d'ondes ayant une section pouvant être commandée thermiquement, et un procédé de fabrication de la structure. La structure de guide d'ondes comprend une pluralité de couches. Les couches comprennent, dans l'ordre : un substrat (306), une couche sacrificielle (305), une couche de gainage inférieure (303), une couche centrale de guide d'ondes (302), et une couche de gainage supérieure (301). La couche de gainage inférieure, la couche de guide d'ondes centrale et la couche de gainage supérieure forment le guide d'ondes, le guide d'ondes présente une âme de guide d'ondes. La structure de guide d'ondes possède un trou d'interconnexion continu (307) passant à travers la couche de gainage supérieure, la couche centrale de guide d'ondes, et une couche de gainage inférieure et s'étendant parallèlement à la nervure de guide d'ondes (304) sur sensiblement toute la longueur de la section pouvant être commandée thermiquement. La structure de guide d'ondes comporte également une région thermiquement isolante (308) dans la couche sacrificielle s'étendant au moins depuis le trou d'interconnexion jusqu'au-delà de la nervure de guide d'ondes sur toute la longueur de la section pouvant être commandée thermiquement. La couche sacrificielle comprend un matériau sacrificiel à l'extérieur de la région thermiquement isolante, et un gap thermiquement isolant (308) ou un matériau thermiquement isolant séparant la couche de gainage inférieure et le substrat à l'intérieur de la région thermiquement isolante. La structure est fabriquée en fournissant une gravure humide à la couche sacrificielle à travers le trou d'interconnexion afin d'éliminer le matériau d'au moins la région thermiquement isolante.