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1. (WO2018060619) DISPOSITIF D'OBSERVATION D'UN ÉCHANTILLON ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'UN ÉCHANTILLON

Pub. No.:    WO/2018/060619    International Application No.:    PCT/FR2017/052625
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 28 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03H 1/08
G01N 15/14
G03H 1/04
Applicants: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Inventors: ALLIER, Cédric
BORDY, Thomas
CIONI, Olivier
HERVE, Lionel
MOREL, Sophie
Title: DISPOSITIF D'OBSERVATION D'UN ÉCHANTILLON ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'UN ÉCHANTILLON
Abstract:
L'invention est un dispositif permettant une observation d'un échantillon (10) selon une première modalité, par imagerie sans lentille à l'aide d'un premier capteur (16). Cette première modalité permet d'obtenir une première image, à partir de laquelle une région d'intérêt de l'échantillon peut être identifiée. Le dispositif permet alors, via un déplacement (30) relatif, une analyse de la région d'intérêt à l'aide d'une deuxième modalité, plus précise, notamment à l'aide d'un système optique (25) couplé à un deuxième capteur (26).