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1. (WO2018059824) SÉLECTION DE RECETTE DE MÉTROLOGIE

Pub. No.:    WO/2018/059824    International Application No.:    PCT/EP2017/070825
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Aug 18 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
G03F 9/00
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: BHATTACHARYYA, Kaustuve
DEN BOEF, Arie, Jeffrey
JAK, Martin, Jacobus, Johan
Title: SÉLECTION DE RECETTE DE MÉTROLOGIE
Abstract:
L'invention concerne un procédé qui consiste à évaluer une pluralité de recettes de mesure de substrat pour la mesure d'une cible de métrologie traitée par un processus de formation de motif, par rapport à une sensibilité d'empilement et une sensibilité de superposition, et sélectionner une ou plusieurs recettes de mesure de substrat à partir de la pluralité de recettes de mesure de substrat qui ont une valeur de sensibilité d'empilement qui satisfait ou croise un seuil et qui ont une valeur de sensibilité de superposition dans une certaine plage finie à partir d'une valeur maximale ou minimale de la sensibilité de superposition.