Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018059377) DISPOSITIF PERMETTANT DE DÉPLACER UNE PLATEFORME DE PIÈCE À TRAVAILLER

Pub. No.:    WO/2018/059377    International Application No.:    PCT/CN2017/103335
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: CONG, Guodong
丛国栋
Title: DISPOSITIF PERMETTANT DE DÉPLACER UNE PLATEFORME DE PIÈCE À TRAVAILLER
Abstract:
L'invention concerne un dispositif permettant de déplacer une plateforme de pièce à travailler, comprenant un cadre inférieur (1) pour soutenir la plateforme de pièce à travailler, un ressort pneumatique (2) agencé sur une surface inférieure du cadre inférieur (1), une unité de coussin d'air (3) pour générer une flottation en vue de soutenir la plateforme de pièce à travailler lorsque la plateforme de pièce à travailler est déplacée, et une unité de déplacement (200) agencée sur la structure inférieure (1). L'unité mobile (200) comprend : une unité de rouleau (4), pour entraîner la plateforme de pièce à travailler à se déplacer; un ressort à lames (6), une extrémité du ressort à lames (6) étant reliée à un bloc de liaison (5), et l'autre extrémité de ce dernier étant reliée à l'unité de rouleau (4); et une unité d'entraînement de déformation de ressort à lames (8), reliée au ressort à lames (6), en vue de permettre, par entraînement du ressort à lames (6) de déformer, l'unité de rouleau (4) devant être en contact avec le sol lorsque la plateforme de pièce à travailler est déplacée. L'unité d'entraînement de déformation de ressort à lames (8) est agencée de sorte que le ressort à lames (6) se déforme, et l'unité de rouleau (4) est en contact avec le sol lorsque la plateforme de pièce à travailler est déplacée dans ou vers l'extérieur, entraînant la plateforme de pièce à travailler à se déplacer, empêchant un brouillage en cas de couple extrêmement élevé, et améliorant la stabilité lorsque la plateforme de pièce à travailler est déplacée.