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1. (WO2018059376) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE PARTICULES SUR UN PANNEAU
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N° de publication :    WO/2018/059376    N° de la demande internationale :    PCT/CN2017/103334
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 26.09.2017
CIB :
G01N 15/02 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 1525 Zhangdong Road Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203 (CN)
Inventeurs : HAN, Xueshan; (CN).
SHEN, Yongqiang; (CN)
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335 (CN)
Données relatives à la priorité :
201610877673.4 30.09.2016 CN
Titre (EN) METHOD OF DETECTING PARTICLES ON PANEL
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE PARTICULES SUR UN PANNEAU
(ZH) 一种平板颗粒度检测方法
Abrégé : front page image
(EN)A method of detecting particles on a panel comprises the following steps: illuminating, using a light source module (10), a panel to be detected (40), and generating an illumination field; adjusting a halfwidth of the illumination field; adjusting luminous intensity at the center of the illumination field and luminous intensity at the edge of the halfwidth of the illumination field; adjusting light intensity and a position of the light source, and a position of a detector (20); and acquiring, by the detector (20), a panel foreign object signal. The method is utilized to significantly reduce crosstalk of particle images and a panel lower surface pattern, increasing a signal-to-noise ratio, thereby increasing accuracy of detecting a foreign object at a panel.
(FR)Cette invention concerne un procédé de détection de particules sur un panneau comprenant les étapes suivantes : éclairage, à l'aide d'un module source de lumière (10), du panneau soumis à détection (40), et génération d'un champ d'éclairage ; ajustement d'une demi-largeur du champ d'éclairage ; ajustement de l'intensité lumineuse au centre du champ d'éclairage et de l'intensité lumineuse au bord de la demi-largeur du champ d'éclairage ; ajustement de l'intensité de lumière et d'une position de la source de lumière, et d'une position d'un détecteur (20) ; et acquisition, par le détecteur (20), d'un signal d'objet étranger au panneau. Le procédé est utilisé pour réduire significativement la diaphonie d'images de particules et d'un motif de surface inférieure de panneau, par augmentation d'un rapport signal sur bruit, pour accroître ainsi la précision de détection d'un objet étranger au panneau.
(ZH)一种平板颗粒度检测方法,该方法主要包括以下步骤:通过光源模块(10)照射待检测平板(40),产生照明视场;调节照明视场半宽;调节照明视场中心光强和照明视场半宽边缘处光强;接着,调整光源强度、位置以及探测器(20)的位置;通过探测器(20)获取平板异物信号。该方法极大的降低了颗粒镜像以及平板下表面图案串扰,提高信噪比,进而可以提高平板异物检测的准确性。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)