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1. (WO2018059375) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE FIXATION PAR LOT DE PUCES UNIVERSELLES

Pub. No.:    WO/2018/059375    International Application No.:    PCT/CN2017/103332
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/60
H01L 21/66
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: GUO, Song
郭耸
ZHU, Yuebin
朱岳彬
CHEN, Feibiao
陈飞彪
XIA, Hai
夏海
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ DE FIXATION PAR LOT DE PUCES UNIVERSELLES
Abstract:
L'invention concerne un appareil et un procédé de fixation par lot de puces universelles. L'appareil comprend une zone de saisie et de placement de matériau et une zone de travail de transfert. La zone de saisie et de placement de matériau comprend une zone (110) de saisie et de placement à bande bleue pour fournir une puce (113), et une zone (120) de saisie et de placement de substrat pour placer un substrat (123), la zone (110) de saisie et de placement à bande bleue et la zone (120) de saisie et de placement de substrat étant agencées séparément aux deux extrémités de la zone de travail de transfert. La zone de travail de transfert comprend séquentiellement une zone (210) de préhension et de séparation de puce, une zone (220) d'alignement et de réglage fin de puce, et une zone (230) de fixation par lot de puces, dans une direction allant de la zone (110) de saisie et de placement à bande bleue à la zone (120) de saisie et de placement de substrat. Un appareil (300) de transfert de support de puce est prévu dans la zone de travail de transfert, l'appareil (300) de transfert de support de puce traversant la zone de travail de transfert et servant à déplacer et à fournir des matériaux dans la zone (210) de saisie et de placement de puce, la zone (220) d'alignement et de réglage fin de puce et la zone (230) de fixation par lot de puces. Grâce à sa conception compatible, l'appareil est approprié à la fois pour des modes de fixation de puce face orientée vers le haut ou vers le bas, ce qui élargit la portée d'application de l'appareil. De plus, la conception modulaire peut être configurée selon certaines exigences, ce qui accroît le potentiel de marché.