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1. (WO2018059373) APPAREIL DE COLLAGE DE LOT ET PROCÉDÉ DE COLLAGE

Pub. No.:    WO/2018/059373    International Application No.:    PCT/CN2017/103330
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/60
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: JIANG, Xiaoyu
姜晓玉
XIA, Hai
夏海
CHEN, Feibiao
陈飞彪
GUO, Song
郭耸
Title: APPAREIL DE COLLAGE DE LOT ET PROCÉDÉ DE COLLAGE
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de collage de lot et un procédé de collage. L'appareil de collage comprend : une unité d'alimentation de puce (10) pour alimenter une puce (60) à coller ; une unité d'alimentation de substrat (20) pour alimenter un substrat ; une unité de transfert (40) pour transférer la puce (60) entre l'unité d'alimentation de puce (10) et l'unité d'alimentation de substrat (20) ; et une unité de capture (30) disposée au-dessus de l'unité d'alimentation de puce (10), pour saisir la puce (60) à partir de l'unité d'alimentation de puce (10) et charger la puce (60) vers l'unité de transfert (40) après le retournement d'une surface marquée de la puce (60) dans une direction requise. Dans la présente invention, la capture de chaque puce est réalisée individuellement, mais des processus de transfert et des processus de liaison peuvent être effectués pour de multiples puces en même temps, ce qui augmente considérablement le rendement.