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1. (WO2018058748) TÊTE DE TRANSFERT DESTINÉE À ÊTRE UTILISÉE DANS LE TRANSFERT DE MICRO-COMPOSANT ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE MICRO-COMPOSANT
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N° de publication : WO/2018/058748 N° de la demande internationale : PCT/CN2016/104868
Date de publication : 05.04.2018 Date de dépôt international : 07.11.2016
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
Déposants :
厦门市三安光电科技有限公司 XIAMEN SANAN OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; 中国福建省厦门市 思明区吕岭路1721-1725号 No.1721-1725, Lvling Road, Siming District Xiamen, Fujian 361009, CN
Inventeurs :
徐宸科 HSU, Chen-ke; CN
郑建森 ZHENG, Jiansen; CN
邵小娟 SHAO, Xiaojuan; CN
林科闯 LIN, Kechuang; CN
Données relatives à la priorité :
201610865727.530.09.2016CN
201610865728.X30.09.2016CN
Titre (EN) PICK-AND-PLACE HEAD FOR USE IN TRANSFER OF MICRO-COMPONENT AND METHOD FOR TRANSFERRING MICRO-COMPONENT
(FR) TÊTE DE TRANSFERT DESTINÉE À ÊTRE UTILISÉE DANS LE TRANSFERT DE MICRO-COMPOSANT ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE MICRO-COMPOSANT
(ZH) 用于微元件的转移的转置头及微元件的转移方法
Abrégé :
(EN) A pick-and-place head (300) for use in the transfer of micro-components (200) and a method for transferring the micro-components (200), comprising: a cavity (301) having a vacuum path and a kit (302) having several suction nozzles (303) and several vacuum path members (304), the suction nozzles (303) being configured to be in communication respectively with the vacuum path members (304), the vacuum path members (304) being formed to be in communication respectively with the vacuum path in the cavity (301), and the suction nozzles (303) using vacuum pressure for suctioning the micro-components (200) or releasing the micro-components (200). The vacuum pressure is transmitted via the vacuum path members (304) in the paths and via the vacuum path. When the kit (302) is mounted in the cavity (301), the upper surface of the kit (302) is provided with optical switch components (305) used for controlling the opening or closing of the vacuum path members (304) in the paths and of the vacuum path, thus controlling the suction nozzles (303) to use the vacuum pressure in suctioning or releasing the required micro-components (200).
(FR) Une tête de transfert (300) destinée à être utilisée dans le transfert de micro-composants (200) et un procédé de transfert des micro-composants (200), comprenant : une cavité (301) ayant un trajet sous vide et un kit (302) ayant plusieurs buses d'aspiration (303) et plusieurs éléments de trajet sous vide (304), les buses d'aspiration (303) étant conçus pour être en communication respectivement avec les éléments de trajet sous vide (304), les éléments de trajet sous vide (304) étant formés pour être en communication respectivement avec le trajet sous vide dans la cavité (301), et les buses d'aspiration (303) utilisant une pression sous vide pour aspirer les micro-composants (200) ou libérer les micro-composants (200). La pression sous vide est transmise par l'intermédiaire des éléments de trajet sous vide (304) dans les trajets et par l'intermédiaire du trajet sous vide. Lorsque le kit (302) est monté dans la cavité (301), la surface supérieure du kit (302) comprend des composants de commutateur optique (305) utilisés pour commander l'ouverture ou la fermeture des éléments de trajet sous vide (304) dans les trajets et du trajet sous vide, commandant ainsi les buses d'aspiration (303) pour utiliser la pression sous vide lors de l'aspiration ou de la libération des micro-composants requis (200).
(ZH) 一种用于微元件(200)的转移的转置头(300)及微元件(200)的转移方法,包括:具有真空路径的腔体(301),以及具有若干个吸嘴(303)和若干个真空路径部件(304)的套件(302),所述吸嘴(303)被设置成分别与所述真空路径部件(304)相通,所述真空路径部件(304)被形成为分别与形成于所述腔体(301)中的真空路径相通,且所述吸嘴(303)使用真空压力吸附微元件(200)或释放微元件(200),所述真空压力经由各通路中的真空路径部件(304)和真空路径传送,当所述套件(302)安装到所述腔体(301)时,套件(302)的上表面设置有光学开关组件(305),用于控制各通路中的真空路径部件(304)与真空路径的开或关,从而控制吸嘴(303)使用真空压力吸附或释放所需的微元件(200)。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)