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1. (WO2018058158) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE

Pub. No.:    WO/2018/058158    International Application No.:    PCT/AT2017/000062
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 09 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/34
C23C 14/14
B22F 3/15
C22C 1/04
Applicants: PLANSEE SE
Inventors: EIDENBERGER-SCHOBER, Michael
WINKLER, Jörg
O´SULLIVAN, Michael
Title: CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE
Abstract:
L'invention concerne une cible de pulvérisation cathodique comprenant du molybdène ainsi qu'au moins un métal du groupe (tantale, niobium), la teneur moyenne en métal du groupe (tantale, niobium), en pourcentage atomique (%at), étant de 5 à 15 % et la teneur en molybdène étant ≥ 80 %at. La cible de pulvérisation cathodique comprend au moins une matrice présentant une teneur moyenne en molybdène supérieure ou égale à 92 %at et dans laquelle sont incorporées des particules constituées d'un cristal mixte contenant au moins un métal du groupe (tantale, niobium) et du molybdène, la teneur moyenne en molybdène étant supérieure ou égale à 15 %at. L’invention concerne en outre un procédé de fabrication d'une cible de pulvérisation cathodique.